中古 NOVELLUS CONCEPT One #9096031 を販売中

NOVELLUS CONCEPT ONEは、先進的な半導体製造工程に特化した高スループットのプラズマベース原子炉です。シングルウエハ環境でプロセスソリューションを提供できるため、生産性、均一性、およびファブの拡張性が向上します。NOVELLUS CONCEPT ONEは、超高イオンフラックス（最大10^20 イオン/cm2/秒）を提供する特許取得済みの低温アークプラズマ源であるDrossomを搭載しています。これにより、プラズマ処理前にウェーハの表面を事前に清掃して強化することができます。この超高イオンフラックスを低トータルコストを維持しながら提供するのは、この種の唯一のものです。CONCEPT ONEには、1つの低圧プロセスチャンバーを使用した高温処理を提供するPulsarプリクリーンモジュールもあります。このモジュールは、炭素沈着やパターン誘発歩留まり損失などの課題の治療に使用できます。また、プロセスのスループットを向上させ、より高いレベルのフィルムの均一性を達成することができます。CONCEPT ONEには分散アーキテクチャがあり、最大スループットを実現するために2つまたは4つのプロセスを組み合わせた4つの原子炉があります。これにより、迅速なスケーリングが可能になり、ポリシリコン沈着やドーピングなどの高度なプロセスをサポートします。この原子炉は高精度であり、高度な自動調整アルゴリズムを使用して迅速な最適化と再現性を実現しています。NOVELLUS CONCEPT ONEは、高精度のプロセス制御、並外れた均一性、高速スループットを組み合わせた、次世代半導体製造の画期的なプラットフォームです。大容量の製造能力に理想的なソリューションを提供し、高度なプロセス技術のために構築された唯一の高スループット炉です。