中古 NOVELLUS CONCEPT One #9096029 を販売中

NOVELLUS CONCEPT ONEは、NOVELLUS Systems、 Inc。が開発した革新的な原子炉技術です。プロセススループットと製品歩留まりを向上させながら、薄膜や先端材料構造の効率的な生産を可能にするように設計されています。リニアリアクター設計は、高温化学蒸着（CVD）源と高効率の熱交換装置を組み合わせ、幅広い蒸着速度と組成制御を実現しています。2つの独立したCVD源を使用することで、表面の均一性や化学組成などの薄膜品質が望ましい。材料工学の分野で20年以上の経験を持つこの原子炉技術は、原子層成膜（ALD）、金属有機化学蒸着（MOCVD）、変性大気化学蒸着（MACVD）などの高度なプロセスを可能にしました。NOVELLUS CONCEPT ONEリアクターは、カスタム設計された高温CVD素子のクラスタを含むいくつかの先進技術を単一のリニアリアクタ設計に統合しています。これらのCVD素子は、熱排気を効率的に分散させ、蒸着時間とプラズマ温度を管理する独自の熱交換システムによって補完されています。原子炉はまた、オペレータを保護するだけでなく、安定した安全な原子炉の環境を作成するための封じ込めと規制システムのセットを備えています。この構成は、均一な温度制御、効率的なプロセス温度変動、および幅広い蒸着速度を提供し、高度な材料構造機能を可能にします。コンセプトワン炉は、従来のシステムと比較して多くの利点を提供する洗練された反応技術の例です。モバイルで使いやすく、エネルギー効率が高く、1つのユニットで複数の材料プロセスを実行できるため、時間と資源を節約しながら歩留まりを増やすことができます。さらに、機械の小型化により、生産環境における最小限のフットプリントが可能となり、研究、プロトタイピング、さらには産業用途にも適しています。全体として、CONCEPT ONEは、必要な材料や構造を正確にチューニングすることができる強力で汎用性の高い原子炉です。先端技術を駆使した独自の設計により、さまざまな薄膜や先端材料構造の効率的な生産を可能にし、安全で信頼性の高い方法でスループットと製品歩留まりを向上させます。