中古 NOVELLUS CONCEPT One #9089208 を販売中

NOVELLUS CONCEPT ONEは、半導体デバイスからOLEDディスプレイまで、高度なプロセス技術を駆使した、高精度で高生産性の製品を製造する最先端の化学蒸着（CVD）炉です。NOVELLUS CONCEPT ONEは、研究開発から大量生産まで、さまざまな生産ニーズに対応するために、プロセスのフラックス制御と高いスループットを可能にするように設計されています。高K CVD、 低K CVDなどの先進マイクロプロセッサ、OLEDディスプレイやマイクロエレクトロニクスデバイス向けの誘電成膜など、幅広い用途に対応しています。CONCEPT ONEはリモートオペレーション機能も備えており、遠隔地からプロセスを開始、監視、終了することができます。この機能により、プロセス制御と最適化が自動化され、最終的には生産スループットが最適化されます。この原子炉は、NOVELLUSの特許取得済みの熱分離室（TSC）技術に基づいており、複数のチャンバーの同時熱制御と広範囲の蒸着を提供します。このマルチゾーンチャンバーは、プロセス全体にわたって非常に均一で高品質の堆積を可能にし、追加のチューニングまたは手動調整の必要性を排除します。CONCEPT ONEには自動起動機能が搭載されており、ユーザーが原子炉をセットアップするときに論理的で自動化されたプロセスを提供します。また、データ収集システムを備えており、プロセス中にリアルタイム情報を取得し、スループットの向上とプロセスの迅速な評価と改善を可能にします。NOVELLUS CONCEPT ONEは、異なるプロセスのニーズに適応するために簡単に取り外し、交換可能なモジュールで、柔軟性のために設計および構築されています。さらに、原子炉はNOVELLUS Ease of Inspectionプログラムに準拠しており、プロセスフローが常に最適化されていることを保証します。全体として、NOVELLUS CONCEPT ONEは、生産効率と品質を向上させるための高度な技術を使用した最先端のCVD炉です。リモートオペレーション、オートスタート、マルチゾーン制御など、さまざまな機能と機能を備えているため、生産速度の向上、精度の向上、プロセスの将来性の向上を実現できます。