中古 NOVELLUS CONCEPT One #9026266 を販売中

NOVELLUS CONCEPT ONEは、成長を続ける半導体産業のユニークなニーズに合わせて拡張可能に設計された次世代原子炉です。最新の半導体デバイス製造に使用される部品の精密な加工を可能にするコールドウォールEUVソースです。150-400 mW/cm2から1m x 1mの広い範囲の電力密度を生成することができ、この領域の平均コヒーレンス長は40cmです。この電力密度は、0。15nmの解像度まで高効率のEUVシステムを駆動することができます。NOVELLUS CONCEPT ONEリアクターは、自動ガス混合技術で動作する統合ガス噴射装置を備えており、レーザーキャビティの加熱によるレーザー出力の向上を実現します。この一貫した熱プロファイルにより、レーザービームの焦点が向上し、プロセスを正確に制御できます。さらに、プロセスが再現可能で安定していることを保証し、より高い歩留まりとより良いプロセスアダーをもたらします。CONCEPT ONEは、レーザー、増幅媒体、および原子炉の光学系を一貫した温度で維持するアクティブ循環クーラーも備えています。この熱管理システムは、現場診断およびフィードバック冷却システムと連携して、原子炉の出力安定性を向上させ、プロセスパラメータの微調整を可能にします。CONCEPT ONEでは、製造工程サイクル中にビーム特性の時間進化を測定できるin-situ diagnosticsユニットを追加しました。これにより、正確なビーム出力が保証され、時間の経過とともに光学系への損傷が最小限に抑えられます。さらに、原子炉は高効率のEUV源も備えており、レーザーから光学系へのエネルギー移動のより効率的な手段を作り出し、したがって消費電力を削減します。NOVELLUS CONCEPT ONEは、半導体産業を成功に導くことができる最適化されたEUVソース炉です。そのパワーと温度制御システムは、その場での診断と統合ガスインジェクションマシンと一緒に、それは非常に効率的で、半導体業界の困難なニーズに適した信頼性の高い、堅牢な製品になります。