中古 NOVELLUS CONCEPT One #73827 を販売中

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製造業者
NOVELLUS
モデル
CONCEPT One
ID: 73827
PECVD system, 5" Main body Booster pump Reacor dry pump LL pump Scrubber Generator Power requirements De-installed 1994 vintage.
NOVELLUS CONCEPT ONEは、高度なマイクロエレクトロニクス市場向けに設計された高い生産性、ウェーハ処理炉です。これは、そのクラスで最高の性能、最も信頼性と柔軟性のある原子炉の一つであり、カスタマイズ可能なプロセス濃度と温度を提供する能力を持っています。特許取得済みのNOVELLUS Drive Equipment、特許取得済みのNOVELLUS Atomization System、およびNOVELLUS Controled Cooling Unitを搭載しており、高性能で費用対効果の高いウェーハ処理を必要とするメーカーに最適です。NOVELLUS Drive Machine (NDS)は、最高の生産性と製品品質を実現するために、正確で安定した再現可能なプロセス条件を提供できる先進技術です。革新的なモーター、モーター駆動シャフト、デジタルエンコーダを使用して、シャフトの動きを高精度で追跡します。これにより、最適なプロセスのエネルギッシュな制御が可能となり、従来の原子炉に比べてプロセスの安定性が45%向上します。NOVELLUS霧化ツール(NAS)は、高効率の霧化と正確なプロセス制御を組み合わせています。ユーザーがエネルギー効率、プロセス温度、濃度を制御できるように、NASは特定のニーズに合わせてカスタマイズされたプロセスを提供するように設計されています。NOVELLUS Controlled Cooling (NCC)アセットは、プロセスを停止する前にウェーハを安全な温度に均等に冷却することで、冷却に伴うコストを削減し、製品品質を維持するために設計されています。高度なリニアドライブモータを使用して、プロセス温度を正確に調整し、冷却速度を向上させ、熱勾配応力を低減し、ウェハ全体で均一な温度を作成します。NOVELLUS CONCEPT ONEリアクターは、マイクロエレクトロニクス業界で優位性を得るために探しているメーカーにとって、効率的で信頼性の高い選択肢です。優れた性能と正確で予測可能なプロセス制御を提供するワンストップソリューションとして設計されています。それは多様性、耐久性および精密それに最先端、高性能プロセスのための理想的な選択をしますです。
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