中古 NOVELLUS CONCEPT One #188571 を販売中

NOVELLUS CONCEPT ONEは、信頼性の高い高性能な薄膜成膜を実現する画期的なツールです。これは、ホイール上のオールインワン軽量反応チャンバーであり、最大2mbarの高真空性能、およびプロセス条件とコーティングパラメータの精密制御を提供します。原子炉全体は、ステンレス鋼のフレームワークに基づいて構築され、低所有コストと最大稼働時間を達成するように設計されています。NOVELLUS CONCEPT ONEは、高度な蒸着技術の業界標準である実績のあるPulsarシステムを使用して、反応剤と製品の両方の流れを正確に制御します。プロセスの蒸着速度、時間、温度を正確に制御する能力は、薄膜蒸着において比類のない精度と均一性を提供します。CONCEPT ONEは、反応前後の様々な基板のアライメントをサポートする軽量ロボットアームも備えています。ロボットアームは、中間層のアライメントとローディングを可能にし、基材の位置精度をより厳しく制御します。これにより、高付加価値製品の製造に最適です。CONCEPT ONEは、RF （1-200 MHz）、 DCマグネトロン、DCバイアス、およびe-Beamを含む、プロセス制御のための垂直熱蒸発ソースを利用しています。この蒸発源の組み合わせにより、堆積率は整合性を保ち、必要に応じてプロセスパラメータを微調整することができます。シンプルなデザインとサイズのため、NOVELLUS CONCEPT Oneはあらゆる環境で簡単に設置およびセットアップが可能です。また、生産性を高め、コストを削減し、ダウンタイムを最小限に抑えることができる既存の機器やシステムとの統合も容易です。全体として、NOVELLUS CONCEPT ONEは、今日市場で入手可能な最も先進的で生産性の高い原子炉の1つです。最新の薄膜成膜技術とオールインワン設計を組み合わせることで、高品質なプロセス制御とコーティングを低コストで提供します。