中古 NOVELLUS CONCEPT One C1-D #9135536 を販売中

NOVELLUS CONCEPT One C1-Dは、NOVELLUS Systems社が開発した高度な蒸着およびエッチング用途向けの次世代高性能リアクタです。生産性向上と優れたプロセス性能を提供し、重要なマイクロエレクトロニクス部品のより迅速かつ効率的な製造を可能にします。原子炉の設計は、電気化学蒸着、化学蒸着（CVD）、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）プロセスの特定のプロセスの必要性に合わせて調整することができるという概念に基づいています。この柔軟性に対応するために、原子炉はモジュール式のアプローチで構成されています。これにより、ユーザーはアプリケーションの特定の要件に合わせてハードウェアとプロセスパラメータをカスタマイズできます。この原子炉は、独自のスラスター駆動機構、クローズドループ式圧力制御装置、調整可能な温度プロファイル、プロセスのリアルタイム監視など、いくつかの革新的な技術を含む最適化された省エネ設計を備えています。スラスタドライブメカニズムにより、ウェーハの伝送と処理を一貫して低消費電力レベルで行うことができます。クローズドループ式圧力制御システムは、プロセスの均一性と再現性を高め、精密なプロセス調整を可能にすることでエネルギー消費を削減します。調節可能な温度プロファイルにより、均一性の向上によるプロセス速度の向上とエネルギー消費の削減が可能です。最後に、オンボードのリアルタイムモニタリングユニットを使用してプロセスパラメータを監視することができ、最適なプロセス制御を保証します。CONCEPT One C1-Dのチャンバーは、業界標準のウェーハサイズと容量結合プラズマ（CCP）技術との互換性を考慮して設計されています。このチャンバーには独自の水冷RF源が装備されており、大きな外部冷却機の必要性を排除し、高いプロセスの均一性と再現性を提供します。さらに、このチャンバは、迅速なウェーハ交換、均一な電磁界、およびフォルト検出のための高度なオートメーションツールと統合されています。全体として、NOVELLUS CONCEPT ONE C1-Dは、高度な蒸着およびエッチング用途の要求の厳しい仕様を満たすように設計された画期的な高性能リアクタです。プロセス性能の向上、省エネルギー設計の最適化、および重要なマイクロエレクトロニクスコンポーネントの製造を合理化するための拡張機能を提供します。