中古 NOVELLUS CONCEPT One-200 #9171331 を販売中

NOVELLUS CONCEPT One-200は、半導体製造工場への統合を目的とした先進的な多機能エッチング炉です。高精度・再現性に優れた深低温度エッチング加工が可能で、高精度・高容量生産に最適です。システムの中心には、最大10,000°Cの温度を生成することができる誘導結合プラズマエッチング装置があります。このプラズマは、幅が1 μ m未満のマイクロスケール構造をウェーハ上に作成するために使用されます。この精度により、エッチングプロセスパラメータを正確に制御し、コストを削減し、歩留まりを改善し、製品品質を向上させることができます。また、エッチング時にウェーハを正確に操作できるロボティックエンドエフェクターと、小さな機能へのダメージを最小限に抑える特許取得済みのウェーハ回転ツールを採用しています。一連の自動化されたソフトウェアにより、一貫した再現性のあるプロセス制御が可能になり、アセットは複数のデバイスを1回の実行で正確にエッチングできます。CONCEPT One-200には、モデルの効率とスループットを向上させるために設計された多くの機能も含まれています。この装置は、ウェーハの摩耗を最小限に抑えるためにマルチステップエッチプロセスを使用しており、高精度エッチングのための正確な自動ウェーハ位置決めと運動を可能にするアルゴリズムを備えています。NOVELLUS CONCEPT One-200は、適応性が高くユーザーフレンドリーであるように設計されており、既存の半導体製造ラインへの幅広いアプリケーションと統合を可能にします。頑丈なモジュラー構造により、インストールとメンテナンスが容易になり、拡張可能なシステムアーキテクチャにより、必要に応じてアップグレードとカスタマイズが可能です。CONCEPT One-200は、高精度、高スループット、高精度、再現性の高いエッチング用に設計された先進的なエッチングリアクターです。その信頼性と柔軟性の高い設計により、生産と品質の最大化を目指す半導体メーカーにとって理想的なソリューションです。