中古 NOVELLUS CONCEPT One-150 #9311436 を販売中

NOVELLUS CONCEPT One-150は、CVDおよびMVG型プロセスに特化した業界をリードする超低圧原子炉です。優れた制御と条件の再現性を提供し、高度な生産を可能にするフルスイートのプロセスオプションを提供します。この原子炉は、パイロットスケールと生産スケールの両方の製造アプリケーション用に設計されています。NOVELLUS CONCEPT ONE 150は、最大150リットルの容量を持つポリマーラインチャンバーを備えています。また、圧力、温度、ガスの流れなど、さまざまなプロセス制御パラメータも提供しています。この装置は、最大2つの加熱および冷却されたプロセスコイル、スイープフィルトレーションシステム、およびプロセス要件と安全要件の両方に対応する柔軟な圧力プラットフォームで構成されています。さらに、このユニットには、さまざまな高度な診断機能、統合計測ツール、製品品質のリアルタイム分析が含まれています。CONCEPT ONE-150は使いやすく、Si、 Ta、 Al、 Niなど様々な材料の加工に使用できます。蒸着、酸化、スパッタリング、ケミカルエッチングなど、さまざまなプロセスを同時に実行できます。容量結合プラズマ（CCP）や誘導結合プラズマ（ICP）などの高度なプロセスも可能です。このマシンはプログラマブルロジックコントローラ（PLC）を備えており、プロセス制御と監視を簡単に行うことができます。また、光学顕微鏡、FTIR分光法、残留ガス分析（RGA）など、幅広い高度なデータ収集ツールを備えています。これらのツールは、プロセス条件の監視と検証に役立ちます。CONCEPT ONE 150は、プロセス性能の高品質と再現性を確保するための強力で信頼性の高いツールです。このツールは、幅広いプロセスオプションと統合監視ツールを備えており、集積回路やその他のマイクロエレクトロニクスデバイスの量産に最適です。