中古 NOVELLUS CONCEPT One-150 #9250100 を販売中

NOVELLUS CONCEPT One-150 （C1-150）は、大量生産と高スループットのために設計された垂直型CVD炉です。このC1-150は、構成可能なオートメーション、カスタマイズ可能なプロセスパラメータ、および合理化された設計により、柔軟性と信頼性を提供します。C1-150は堅牢な構造と頑丈な部品で構築されており、最大20 Torr （2。7 kPa）の極圧と2000°Cまでの温度に対応できます。このC1-150には、可変、垂直、低圧の原子炉室があり、統合ポンプ装置、高性能熱監視システム、および低温保存装置が装備されています。液体、ガス、蒸気相環境を含む3つの蒸着源を収容することができ、一度に最大14時間実行することができます。C1-150は4つの利用可能な容量を提供しています：PAD （Planar-Array Deposition）、 21インチのウェーハ容量。COP（クローズドループ酸化物の処理）、200ミクロンの厚さ容量；誘電性のエッチング、10ミクロンの深さ容量；そして金属のエッチング、1ミクロンの深さ容量。このC1-150にはSCADA（監視制御およびデータ収集）マシンが装備されており、ユーザーはツールを制御し、リアルタイムで有用なプロセスパラメータを監視し、既存のシステムに統合することができます。このC1-150には、プロセスの安定性を維持するために自己補償することができる、最適化されたプロセス制御のための完全自動ソースアーキテクチャも装備されています。高度な制御アセットを備えており、設定可能なパラメータの配列を提供し、最大99レシピのデータを安全に保存します。C1-150は、最高レベルのプロセス安定性を確保するために、制御された圧力と温度動作環境を備えたクリーンルーム製造用に設計されています。圧力リリーフバルブ、温度保護メカニズム、デジタル温度コントローラなどの構成可能な安全機能をオフにします。C1-150には、パーティクルスクラビングモデル、イオン化された酸素洗浄装置、オゾン注入システム、HEPAフィルタも装備されています。高度な安全システムと統合されたプロセスレシピライブラリにより、ユーザーは特定のニーズに合わせてC1-150をカスタマイズできます。