中古 NOVELLUS CONCEPT One-150 #9250099 を販売中

NOVELLUS CONCEPT One-150は、シングルウェーハ化学蒸着（CVD）炉です。これは、精密な制御条件下で基板上の様々な誘電および導電性材料の堆積のために設計されています。この原子炉は、シングルウェーハロック、シャワーヘッドディストリビュータ、ガスドレインマニホールド、2つのRF源、および無線周波数（RF）駆動タービンを採用しています。シングルウエハーロックにより、NOVELLUS CONCEPT ONE 150は1つの基板を一度に処理できます。このシステムはクイックチェンジライナーで設計されており、プロセスチャンバーをオンデマンドで迅速に新しいレシピに変換できます。ロードロックには、蒸着が開始される前に基板の制御された熱ベーキングを可能にする炉が装備されています。さらに、洗練されたポンプ制御システムにより、最終基板ローディングの前にチャンバーを大気圧で正確に保持することができます。次に、showerheadのディストリビューターは均一なフィルムの沈殿を保障するためにウエファーの表面上のプロセスガスを均一に配ります。この精度分布は、3つの独立したフローパスを使用し、それぞれに30個の出口ポートがあります。フロー制御は、より高い流量でより均一な分布を作成するために使用されるデュアルヒースRFソースとタービンによって強化されます。最初の分布の後、ガスは2段階のガス排水システムによって原子炉から取り除かれます。最初の段階は、ガスが基板から素早く引き離され、チャンバーから排出されることを保証します。第2段階は、さらなる分析のために残留汚染物を捕捉する再循環チャンバーを使用しています。最後に、無線周波数（RF）駆動タービンは、原子炉内の交互の磁場と電界を作り出します。この交流場は電子が振動することを可能にし、ガス源から基板に原子をめっきするのに理想的な高エネルギー状態を作り出します。結論として、CONCEPT ONE-150は、さまざまな材料の正確な堆積のために設計された汎用性の高いシングルウェーハCVDリアクタです。シングルウェーハロードロック、シャワーヘッドディストリビューター、ガスドレインマニホールド、2つのRFソース、およびRF駆動タービンを備えています。これらのコンポーネントが連携して、汚染を最小限に抑え、プロセス速度を高速化することで、徹底的に均一な蒸着を実現します。