中古 NOVELLUS CONCEPT One-150 #293807073 を販売中

NOVELLUS CONCEPT One-150は、NOVELLUS SYSTEMS Inc。が開発・製造した単一のチャンバーケミカル蒸着（CVD）ツールです。これは、制御された均一な方法で薄膜の堆積を可能にする高度に自動化されたツールです。NOVELLUS CONCEPT ONE 150は、150立方センチメートル（cc）の固定容積を持つ長方形の反応室を備えています。チャンバーはまた、熱安定性を維持するために絶縁されています。このツールはまた、統合された不活性ガスおよび化学蒸気注入、ならびにin-situ圧力測定も備えています。これにより、蒸着プロセスのパラメータ（圧力、温度、リアクタント濃度など）を正確に制御できます。チャンバーを加熱冷却するために、機械には水晶電気抵抗ヒーターと液体窒素熱伝達ブロックが装備されています。機械は独立した地帯の暖房および冷却、また近い温度調整を可能にする高度の複数の地帯の温度調節器で包まれます。CONCEPT ONE-150は、プログラム可能な中央処理ユニット（CPU）によって制御されるベンチトップCVDシステムです。これは、化学蒸着、熱処理、サイクリングなど、いくつかの事前プログラムされたアプリケーションが可能です。この原子炉は、フッ素化ポリシリコンや窒化ケイ素など、さまざまな薄膜の堆積を可能にします。また、金属、合金、誘電体、絶縁体の小さな粒子でウェーハをコーティングするためにも使用されます。NOVELLUS CONCEPT ONE-150は、低プロセスドリフトを維持し、ロングランを実行する機能を備えており、量産に適しています。運用コストを削減するために、メンテナンスと高い稼働時間を最小限に抑えるように設計されています。このツールは非常に信頼性が高く、操作と調整が簡単で、非常に堅牢で反復可能な堆積プラットフォームです。