中古 NOVELLUS CONCEPT 3 #293644796 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 3は、優れたフィルム蒸着性能を提供するように設計された先進的な平面角度PECVD（プラズマ強化化学蒸着）原子炉です。このシステムは、窒化ケイ素、酸化ケイ素、酸化ケイ素の極薄蒸着および修正に最適化されており、優れた均一性とフィルム品質を備えています。独自のデュアル周波数互換性を備えたCONCEPT 3は、従来のシステムよりも粒子密度制御と優れたフィルム性能を実現します。NOVELLUS CONCEPT 3リアクターは、高度な多周波PECVDプロセスチャンバーとRFマッチングネットワークで構成されています。RFマッチングネットワークは、発電機とプロセスチャンバー間の最適なインピーダンスマッチングを提供するように設計されており、並列および直列共振、および低周波および高周波の両方で調整可能です。このRFマッチングネットワーク設計は、ホットスポットを排除し、インピーダンスを調整してプロセスの均一性と再現性を向上させるだけでなく、電力効率を向上させ、所有コストを削減します。CONCEPT 3のプロセスチャンバーには、高密度RFジェネレータと、低周波と高周波の両方を同時に生成するデュアル周波数励起システムが装備されています。これは、基板表面に迅速かつ均一なフィルム成長を駆動しながら、プロセスプラズマの完全性を維持するのに役立ちます。この2周波数配置は、外部エッチング速度を低減し、リアクティブイオンエッチング（RIE）ステップ中の不要な粒子の放出を防止するのにも役立ちます。自己完結型PECVDシステムと特別に設計されたコード準拠のプロセスチャンバーは、信頼性と寿命について厳格にテストされています。堅牢な設計により、さまざまな産業プロセスやアプリケーションにわたって最適なパフォーマンスが保証されます。NOVELLUS CONCEPT 3には、タッチスクリーンのクラスタ制御、Webベースのアプリケーション管理、強力な診断およびレシピトラッキング機能も搭載しています。全体として、CONCEPT 3は市場で最も先進的なPECVDシステムの1つであり、優れたプロセス制御、反復可能な性能、効率的なフィルム蒸着を提供します。超薄膜成膜、ハードマスク成膜、パターニング、金属/誘電層の形成など、多種多様な成膜プロセスに最適です。NOVELLUS CONCEPT 3は、パワフルな機能、先進技術、ユーザーフレンドリーなデザインの組み合わせにより、あらゆるモダンな製造環境に対応する信頼性の高い効率的なPECVDソリューションです。