中古 NOVELLUS CONCEPT 3 #293644795 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 3は、半導体産業を中心に、蒸着およびエッチング処理用に設計された高性能のPECVD（プラズマ強化化学蒸着）原子炉です。このツールは、大量の大面積レンズ部品のための高精度で強力な成膜ツールです。CONCEPT 3は、独自に配置された4つのスペースを備えたユニークな原子炉室アーキテクチャを採用しています。これらの各スペースには、個別のCVDプロセスおよび/またはエッチングプロセスを個別に含めることができます。このユニークな設計の結果、4つのプロセスモジュールを同時に実行できるため、スループット時間が短縮され、プロセスの均一性が高くなります。PECVDリアクターは、誘導結合プラズマエッチング（ICP Etch）やリアクティブイオンエッチング（RIE）など、特定のニーズに対応するさまざまなエッチングプロセスを採用しています。これは、大型の多層ウェーハおよびコンポーネント上の均一で精密なフィルムコーティングの成膜とエッチングを容易にするように設計されています。NOVELLUS CONCEPT 3には、プロセスパラメータを即座に最適化できる高度な自動化およびプロセス制御ソフトウェアが搭載されています。ユーザーは、いくつかの簡単な手順でプロセス全体を設定し、所定の実行中にプロセス条件を迅速に変更して、生産の効率を向上させることができます。最終的には、基板のより正確な制御により、品質が向上し、生産時間が短縮され、製品コストが削減されます。CONCEPT 3はまた、4つのチャンバーのそれぞれに柔軟な温度制御を提供するユニークな「ハイブリッド冷却」システムを備えています。この機能により、このツールは非常に汎用性が高く、より高い温度でより硬い材料のエッチングを高速化したり、より低い温度で繊細なエッチング作業を行うことができます。それはまた異なった部屋間の極度な温度の相違による基質のゆがみを防ぐのを助けます。全体として、NOVELLUS CONCEPT 3は先進的で汎用性の高いPECVDリアクタツールで、高度な多層ウェーハとコンポーネントの高速蒸着を提供するように設計されています。それは独立して複数のプロセスを収容することができる革新的な部屋のアーキテクチャを特色にします、高度なプロセスオートメーションと制御、そしてより大きな温度制御を提供するハイブリッド冷却システム。これらのすべての機能により、CONCEPT 3は大面積の成膜に最適です。