中古 NOVELLUS CONCEPT 3 #293644792 を販売中
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NOVELLUS CONCEPT 3リアクターは、半導体製造に使用される化学蒸着（CVD）ツールです。高純度の気体環境を持ち、高度で高性能な半導体材料を製造することができます。CONCEPT 3リアクターは、先進的な独自設計を採用し、ユーザーに最適な性能を発揮します。NOVELLUS CONCEPT 3リアクターの全体的な設計は、さまざまな気体化学のプロセスを収容するチャンバーで構成されています。中央チャンバーの両側に2つのチャンバーがあり、プレナムとマニホールドがチャンバーを接続しています。拡散チャンバーも中央チャンバーに接続されており、プロセス中に化学物質を分散させることができます。すべてのチャンバー部品が協力して、複雑なプロジェクトに最適なプロセス条件を作成します。CONCEPT 3リアクターのガスインレットマニホールドは、最大3つの異なる化学物質を効率的に供給することができますが、一貫したレベルのプロセス制御を提供します。装置は、化学物質の流れとチャンバー内の圧力を自動的かつ正確に調整し、望ましい結果を確実にすることができます。ガスがチャンバーに届けられたら、それは化学反応を開始することを可能にする放射加熱素子で加熱されます。全体的なプロセスは、センサー、ヒーターなど、チャンバーの壁に配置された多数のツールによって促進されます。プロセスが進むにつれて、チャンバー内のさまざまな検出器が温度と流れを監視し、プロセスがスムーズに実行されていることを常に確認します。望ましい結果が達成されると、非常に反応性の高い副生成分は、排気システムを使用してチャンバーから迅速かつ効率的に除去されます。この排気ユニットは、スクラバー、アフターバーナー、高効率フィルター、ケミカルシーラーで構成されており、安全性とクリーンな作業環境を確保するために協力しています。NOVELLUS CONCEPT 3リアクターは、半導体産業のための高性能材料を作成するために設計された信頼性の高い強力なCVDツールです。自動化されたプロセス制御、効率的なガス供給、安全でクリーンな排気装置を提供し、長期的な信頼性を備えた費用対効果の高いツールです。
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