中古 NOVELLUS CONCEPT 3 #119115 を販売中
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ID: 119115
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
Speed CVD system, 12"
Dimensions: 2604mm x 3536mm x 2125mm
Weight: 3228 kg
90 / 65 nm, FEOL STI
Gases:
SiH4
SH2
SO2
NF3
Ar
He
SN2
D-Air
Includes manual
2005 vintage.
NOVELLUS CONCEPT 3は、革新的でハイテクな機器で知られるNOVELLUSが開発した革新的で先進的な化学反応装置です。この革新的な原子炉は、反応条件の優れた制御、精度、精度を提供することにより、化学加工および製造業界の収率を向上させ、生産性を向上させるように設計されています。CONCEPT 3リアクターは、独自の連続流動反応プロセスを利用して、特定の機器内で最大限の柔軟性を発揮し、汚染の可能性を最小限に抑えた効率的で信頼性の高い運転を可能にします。NOVELLUS CONCEPT 3リアクターは、原子炉容器、反応容器、入口および出口バルブ、反応ポンプ、入口、ポンプ、入口および出口の熱電対を含む一連のモジュラー部品で構成されています。リアクターのモジュール設計により、同じシステムで複数の異なるタイプの反応を行うことができ、最高の効率と精度を保証します。すべての部品は最高の業界基準で設計および製造されており、各部品が用途に適して設計されており、化学炉が行うべき過酷な環境に耐えることができます。CONCEPT 3原子炉は最大6,000 psiの高圧で動作し、-50〜250°Cの温度で動作します。入口および出口弁は反応圧力および温度の精密な制御を可能にするように設計されています、また速く、調整されたプロダクト配達を提供します。温度センシングプローブを使用すると、製造工程中の正確さと安全性を確保するために、必要に応じて反応温度を監視および調整することができます。NOVELLUS CONCEPT 3原子炉の反応容器と原子炉ポンプ機構は、潜在的な汚染を低減し、スケールアップの問題を防止するために特別に設計および構築されています。反応容器とポンプも高温、圧力、腐食性の条件で機能するように構築されています。さらに、ポンプは損失を低減するように設計されており、追加のバルブ、継手、および二次回収システムの必要性を排除します。CONCEPT 3リアクターには、ユーザーがリアルタイムでプロセスパラメータを監視および調整できる専用のソフトウェアインターフェイスも含まれています。これにより、最も困難な条件でも、最適なパフォーマンスを得るために反応パラメータを調整することができます。結論として、NOVELLUS CONCEPT 3リアクターは、優れた安全性、効率性、生産性を保証するために、最新の技術とエンジニアリング技術を活用した、非常に高度な化学反応器装置です。高度な技術により、この機械は要求の厳しい反応プロセスに理想的であり、すべてのアプリケーションで歩留まりとプロセス効率を最大化するのに役立ちます。
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