中古 NOVELLUS CONCEPT 3 Vector #9281484 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 3 Vectorは、高度な金属蒸着プロセス用に設計されたシングルウェーハ化学蒸着（CVD）原子炉装置です。プレヒートチャンバー、堆積チャンバー、冷却ゾーンを含む3ゾーン設計を特徴としています。この予熱チャンバは、ホットバンドがほとんどない450°Cの温度にランプすることができ、さまざまなウェーハ表面の事前調整を可能にします。この蒸着チャンバは、独立して作動する2つのプラズマチャンバーを備えた独自のパラレルプレート構成を備えているため、ソース・ガスの低温制御と蒸着の均一性の向上を可能にします。この冷却ゾーンは、ウェーハの急速冷却を可能にし、高速ウェーハ解析用の自動QCポートを備えています。CONCEPT 3 Vectorは高いスループットを念頭に設計されており、MOVe GAPウェーハ処理システムは迅速なウェーハ処理に最適化されています。これには、均一性の向上、ウェーハの間隔の最小化、ウェーハへのストレスの最小化を支援する多数の機能が付属しています。さらに、傾斜角スパッタリングカルーセル、スルーウェーハの均一性を高める回転台座、最適なステーション間の均一性のためのカルーセルを傾けるユニットなど、さまざまなスパッタリングおよび電気化学加工ツールを備えています。また、金属汚染を低減するフィルム封じ込めカップや、プロセス最適化のための自動化されたインターロックツールなどの機能を備えています。NOVELLUS独自のSenPlace™ソフトウェアは、高度なプロセス監視、制御、最適化技術を活用したプラットフォームです。SenPlaceを使用すると、さまざまなプロセスパラメータをリアルタイムで監視し、即座にプロセスレシピを調整し、ウェーハ表面全体の均一性を確保できます。また、予期せぬ結果なしにプロセスが実行されることを保証するために、さまざまなアラームと安全機能を提供しています。全体として、NOVELLUS CONCEPT 3 Vectorは、スループットと均一性を念頭に設計された高度で汎用性の高いシングルウェーハ蒸着アセットです。これは、低温CVD、窒化アルミニウム、窒化チタン、タングステンなど、さまざまな蒸着プロセスに適しています。