中古 NOVELLUS CONCEPT 3 Vector #9191085 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 3 Vectorは、化学蒸着（CVD）アプリケーションで使用される高性能の蒸着反応器です。これは、低圧化学蒸気浸潤（CVI）、高圧CVD、原子層蒸着（ALD）、プラズマ強化CVD （PECVD）を可能にする複数の統合プロセスチャンバーを備えています。このベクトルは、クローズドループ、共鳴制御基板ヒーターを使用して、蒸着中に基板全体にわたって非常に均一な熱性能を確保します。ベクトルは、究極の柔軟性を可能にするプログラム可能なガス分布プレートを備えており、反応性ガスの正確かつ正確な配信を保証します。ガス分配板にはガス切換弁が採用されており、必要に応じてリアクタントガスを素早く切り替え、新鮮なリアクタントガスに置き換えることで、ガス排出量を削減し、プロセス歩留まりを改善します。さらに、ベクトルには構成可能な自動注入システムとホットフィラメントエミッターがあり、蒸着室に存在する反応種を複雑に制御することができます。また、超高温用に設計されており、金属-有機化学蒸着（MOCVD）や有機化学蒸着（OCVD）などの高性能アプリケーションを可能にします。クローズドループ、中空コーンるつぼ設計は、独自の混合および化学伝達環境を作り出し、反応性制御の改善とプロセス監視と制御の向上を可能にします。また、ベクトルは高度な温度制御システムを備えており、蒸着チャンバ内の高精度な温度制御と均一性を保証します。独自の熱管理システムは、ホットゾーンと内部部品の間に複数の断熱材を含み、基板表面全体に均一な温度分布を提供します。この高度な熱管理システムは、ベクトルの高性能ハードウェアと相まって、堆積プロセス全体にわたって優れた再現性と均一性を提供します。CONCEPT 3ベクトルは、高精度な温度制御、均一性、再現性を提供する、CVDアプリケーションに最適なツールです。MOCVDやOCVDなどの複雑なプロセスに適しており、優れた熱性能と幅広い反応性ガスを可能にします。