中古 NOVELLUS CONCEPT 3 Vector #9169845 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 3ベクトルは、複雑なナノ構造の堆積のために設計された多軸化学蒸着（MPCVD）原子炉です。それはより大きい物質的な均等性および適合性を要求する先端材料および装置適用にとって理想的です。ベクトルには2つの独立に制御された独立した軸があり、同じプロセス条件がより大きな基板に適用されることを保証します。この2軸アプローチにより、基板全体のエッチングプロセスが均一で一貫していることが保証され、均一な適合性と望ましい電気的、光学的、または機械的特性が得られます。ベクトルの中心は、そのチャンバーと2軸の線形伝達システムです。部屋は圧力制御され、温度は発熱体およびチャックの温度センサーによって制御されます。トランスファーシステムには、リニアモータのペアと翻訳ステージが含まれており、非常に高精度で3軸でウェーハを正確に位置および移動させます。チャンバー内では、原子炉とガスクラスターが協力して高精度のスパッタリングとエッチングプロセスを提供します。PVDでは、プラズマを使用して加工対象材料に放電を発生させます。この放電は、ターゲット材料から材料を蒸発させ、目的の基板に堆積させるために使用されます。エッチング工程では、チャンバーにガスを導入し、ターゲット材料と反応し、基板上に薄い保護層またはエッチングパターンを作成します。ベクトルには、チャンバーライナーやプロセスシュラウドなどの複数のプロセスツールも含まれており、エッチングプロセスにさらなる均一性と適合性を提供します。これらのプロセスツールは、チャンバー内の汚染を防ぎ、急速なサーマルサイクリングを可能にします。Vectorの設計により、高い再現性、欠陥レベルが低く、MEMS処理および生体適合性と互換性があります。高解像度の低欠陥イメージングシステムにより、プロセスの監視と制御が可能です。ベクトルは急速なサーマルサイクリングを提供し、プロセス全体で高い均一性を維持しながら、総所有コストを低く抑えます。