中古 NOVELLUS Concept 3 Vector Express #9246247 を販売中
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ID: 9246247
System
Gas configuration:
Gas / MFC Type / Size (SCCM) / Filter (P/N)
SiH4 / BROOKS / 1500 / 1-888-554-FLOW
N2 / BROOKS / 10000 / 1-888-555-FLOW
He / BROOKS / 20000 / 1-888-556-FLOW
NH3 / BROOKS / 1000 and 10000 / 1-888-557-FLOW
N2O / BROOKS / 2500 / 1-888-558-FLOW
N2O / BROOKS / 1500 / 1-888-559-FLOW
O2 / BROOKS / 30000 / 1-888-560-FLOW
NF3 / BROOKS / 1000 and 10000 / 1-888-561-FLOW
N2 / BROOKS / 10000 / 1-888-562-FLOW
Ar / BROOKS / 10000 / 1-888-563-FLOW
Pressure control:
Chamber 627A11TBC, 10T (P/N: 27-10343-00)
Loadlock 750B11BTCE2GK, 10T (P/N: 27-126062-00)
Manifold A filter MPUJ180 (P/N: 22-169887-00)
Manifold B filter GLFPF3000VMM4 (P/N: 22-00006-00)
RPC Isolation valve
RPS AX7645RH-01AX7645 (P/N: 27-282770-00, 27-277368-00)
Detector
Main A valve SWAGELOK (P/N: 22-043786-00)
Main B valve SWAGELOK (P/N: 22-295147-00)
Valve:
Pendulum valve (P/N: 63-323815-00)
Loadlock isolate valve XLA-25-M9
Slit valve door XGT300-30-1A-32 (P/N: 60-251903-00)
VAT Door 07512-UA24-0002 (P/N: 60-123331-00)
RF Related:
HF Generator APEX 5513 (P/N: 27-284656-00) 13.56 MHz
HF Match ADVANCED ENERGY Navigator-10013 (P/N: 27-296376-00)
LF Generator 350-450 kHz
LF Match LFMN8/5 (P/N:27-295862-00)
RF Distribution board (P/N: 02-307707-00)
SHD Distribution board (P/N: 02-280915-00)
Temperature control:
WATLOW PYLM-C005-0727
Temperature controller 20-1000500-409N008-1
Water switch 50-3NB-AAJ6
PED1 S1-1324-112N003
PED2
PED3
PED4
Wafer handler:
Load port FIXLOAD TM 6M (P/N: 63-292227-00)
FI Robot BROOKS ATR8 (P/N: 121669)
LTM Robot (P/N: 15-256077-01 REV A)
Load lock pedestal
PED1 Lift pin actuator
Spindle C-2030D010299-0608 (P/N: 02-275637-00)
Pedestal MCA ball
Pedestal MCA PIN
LL Pedestal actuator
Carrier ring
System control:
System controller MC3
Motion controller MC3
Missing parts:
Loadlock pump
Isolation
Coolpad
Coolpad actuator.
NOVELLUS Concept 3 Vector Expressは、半導体デバイス材料の精密かつ再現性のある膜の蒸着を提供するように設計された、シングルウェーハバッチ型化学蒸着（CVD）リアクターです。この原子炉は酸化物、窒化物、金属、誘電体など幅広い材料を堆積させることができ、現代の高性能デバイスの製造に最適です。Concept 3 Vector Expressは、相互接続された2つの化学蒸着（CVD）チャンバーに基づいており、それぞれに独自のヒーターとサセプターがあります。サセプターは、加熱ゾーンとの間で個別に独立して移動することができ、調整可能なプロセスウィンドウを提供します。また、Vector Expressには最大3つの前駆体を含めることができ、これをチャンバーに注入してさまざまな層を堆積させることができます。NOVELLUS Concept 3 Vector Expressは、酸化物、窒化物および埋め込みゲート構造の1。3ナノメートルの均一性を超え、次世代の超小型トランジスタや高性能半導体デバイスの生産を可能にします。この装置は、高いトランスミッション、X線品質強化設計を備えており、優れた酸化物の圧縮と膜厚の均一性、および重要な部品の寿命を延長しています。コンセプト3 Vector Expressには、オペレータとシステムの両方の保護を提供する数多くの安全機能も含まれています。たとえば、ユニークな「ジョグ」機能により、ユニットのプログラミングポータルからさまざまなプロセスレシピを迅速に選択でき、さまざまなプロセスオプションを提供できます。また、ウエハサイズを自己調整することで基板サイズや形状のばらつきを補正し、変動を低減します。最後に、Vector Expressには自己診断機能があり、プロセスデータの微妙さを特定し、プロセスが仕様外になる前に是正措置を講じることができます。これにより、プロセスの再現性と信頼性の両方が向上し、最終的にはより高い歩留まりが得られます。NOVELLUS Concept 3 Vector Expressは、高度な半導体デバイス・プロセスを実装するための最先端のCVD炉です。Vector Expressは、プログラマブルなサセプター、高精度のX線品質コンポーネント、ユニークなジョグ機能を備えており、今日の最小、最も信頼性の高い、最高性能の半導体デバイスの効率的な生産のために設計されています。
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