中古 NOVELLUS Concept 3 Vector Express #293641738 を販売中
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NOVELLUS Concept 3 Vector Express Reactorは、イオン化された原子またはイオンを利用して材料の超薄膜を異なる表面に堆積させる画期的な先進物理蒸着（PVD）装置です。原子炉部分にはイオン源とマグネトロンスパッタリングチャンバーがあり、二重無線周波数（RF）発電機と強力なパルス発電機によって駆動されます。イオン源により、窒素、アルゴン、その他の不活性ガスなどの成分からイオン化ガスを生成することができます。次に、マグネトロンスパッタリングチャンバーは、これらのイオンを使用して、特定の材料からなるスパッタマウントターゲットを使用します。堆積されている材料は、銅またはアルミニウムから、タングステン、モリブデン、チタン、または他の金属や合金にまで及ぶことができます。Vector Express Reactorは高精度の装置です。これは、デュアルターゲットジェネレータを備えており、基板にさまざまな厚さの複数の材料を堆積することができます。デュアルターゲット機能を使用すると、2つのターゲット材料を同時に使用できます。コーティングの厚さは、1ナノメートルの解像度まで精密に制御することができます。Vector Express Reactorは、高度な多面基板ホルダーシステムも使用しています。このホルダーユニットは、堆積している材料の種類に基づいて調整することができ、フィルムの均一な沈着を提供します。ホルダーマシンは、基板上の局所化イオン化の燃料にも使用できます。これにより、均一で均質なコーティングが形成されます。Vector Express Reactorは高性能なツールですが、その複雑さと高い所有コストは、より大きな生産環境に最適です。この特殊蒸着炉は、最適なフィルム特性と高いスループットを有するフィルムの大規模生産に適しています。層厚や局所イオン化燃料のデジタル制御は、半導体、MEM、 LED、光学デバイス製造にも最適です。
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