中古 NOVELLUS Concept 3 Triple Speed #9237847 を販売中
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ID: 9237847
ウェーハサイズ: 12"
HDPCVD System, 12"
Main mini environment platform
(3) Loader systems: ASYST IsoPort
Handler system: BROOKS AUTOMATION Magnatran 7
Wafer shape: SNNF
(3) Exhausts: Bottom feed
Cooling water: PCW
User interface Windows NT
Mainframe:
Control system: Ethernet
MF FAC Routing: Front, Through-the-floor
Front end robot: BROOKS AUTOMATION Magnatran 7
Load lock & Front end option:
Load locks: C3 WTM Standard SWLL
SECS / GEM
Signal tower
Pod type: 25 Wafers (2) FOUP
BROOKS AUTOMATION Fix load 6M
System controller:
Controller type: Enhanced (NT) with HSMS & GEM
Controller UPS: YES -FAC UPS INF
Electrical INF: Bottom feed AC cables
System EMO type: Push, Turn to release style
EMO Guard ring option
Transfer chamber:
(3) PEC Stations
Transfer chamber manual lid lift
Robot blade: Dual blade with minimum contact
Robot type: BROOKS AUTOMATION Magnatran 7
Pumps:
Fore-line heat trace: YES-105C
Chamber A / B / C:
Chamber type: SPEED HDP ILD
Process kit: NanoFill II
ESC: HEX ESC
TEMP Monitor: ATC NTM Delta
Manifold D orifice: 0.020" For long injector
Manifold G orifice: 0.028" For short injector
RF Generator HF: ADVANCED ENERGY APEX 10 kW
RF Generator LF: ADVANCED ENERGY PDX 8000 8 kW
Pedestal heights: 1.35"
Dome matching network: High power dome
Turbo screen: Louvered screen
(2) Turbo pumps: LEYBOLD MAG2000
Pressure controller:
Throttle valve: MKS 153D
Manometer: MKS 10 Torr / 100 mT
Pressure gauge: DATUM 2000 Dual CH
Gate valve: VAT Pendulum valve
Slit valve o-ring: CHEMREZ
Nozzle: (6) Long & (24) Short injectors
Missing parts:
(3) 05-363589-00 / Retrokit, coulombic ESC
(3) 796-212642-001 / VLV, VAC, VAT, Bonded K910
(3) 04-353972-00 / KIT, Pendulum valve, ISOLA
Line voltage: 208 VAC / 60 Hz
CE Marked.
NOVELLUS Concept 3 Triple Speed Reactorは、最高の蒸着速度と蒸着均一性を実現する高性能の金属化学蒸着（MOCVD）システムです。3レベルの電源により、プロセス圧力、温度、リアクタント供給を完全かつバランスよく制御でき、優れた性能を持つハイエンドの多層半導体デバイスを製造できます。機械は3つの良質の水晶管が装備され、成長地帯への容易なアクセスのための大きい空地を特色にします。3つのエンジンは、バランスのとれた均一なプロセスガスの流れを確保するために、同じ平面に取り付けられています。閉じたチャンバーの設計は、原子炉内の温度と圧力を維持するのに役立ちます。特許取得済みのConcept 3 Triple Speed独立電源により、各蒸着チューブの温度を独自に制御することで、迅速かつ正確な蒸着制御が可能です。NOVELLUS Concept 3 Triple Speed Reactorのフルオートマチック操作と強力な蒸着制御システムにより、優れた再現性と最小限のダウンタイムでバッテリに準拠したプロセスを実現します。マルチレベル電源は、必要な温度と圧力レベルを維持するのに役立ちますが、高度なプロセス制御ソフトウェアは、詳細なプロセス監視と制御機能を提供します。フロントパネルのユーザーインターフェイスは直感的で、簡単な操作とトラブルシューティングが可能です。Concept 3 Triple Speedは、高精度の低圧石英流量計を使用して、効率的なガス供給と成長プロセスの正確な制御を実現します。この電源は複数の動作モードを備えているため、オペレータは単一、デュアル、またはトリプル速度の蒸着モードから選択することができます。さらに、ステンレススチールチャンバーの下部は、サンプルへの容易なアクセスを可能にし、沈殿物のスループットを改善し、サンプル収集に必要な時間を短縮するのに役立ちます。その結果、効率的で信頼性が高く、正確な3レベルの電源が毎回最適な結果をもたらします。
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