中古 NOVELLUS Concept 3 Speed #9263261 を販売中
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ID: 9263261
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
CVD System, 12"
Process: Nitride
Main frame (EFEM / TM)
Chamber A, B and C
AC Rack
RF Rack
2004 vintage.
NOVELLUS Concept 3 Speedは、高精度プロセス開発用に設計されたツールレスのモジュラープロセスリアクターです。この機器は、ダウンタイムを最小限に抑え、ユーザーの生産性を最大化するために、ツールを使用しない高速な構成を提供します。高速プロセス制御機能、クイックツールレスセットアップ、プロセスレシピを迅速に調整および最適化する機能を備えたConcept 3 Speedは、高度なプロセスを開発および生産するための低リスク製造ソリューションを提供します。NOVELLUS Concept 3 Speedは、幅広いプロセスに対応できる汎用性の高い製造装置です。それは快適な特徴の広い範囲が、のような装備されています:現代、ユーザーフレンドリーなタッチ画面のユーザーインターフェイス;プロダクトのきれいで、制御された沈殿のための多数のノズル;温度、圧力および真空のような異なったプロセスパラメータのための可変的な流れ制御;直流の基質のバイアス;そして生産性を最大にし、ダウンタイムを最小にするためにプロセスガス間の速く、きれいな切換え。Concept 3 Speedのモジュラーアーキテクチャを使用すると、カスタマイズ可能な機能とアップグレードを使用してシステムを構成および拡張できます。そのモジュラー設計はメンテナンスの面でも有益です-交換部品は機械の性能や機能を犠牲にすることなく、迅速かつ簡単に交換することができます。NOVELLUS Concept 3 Speedは、高度で統合された監視およびデータ収集ツールも提供しており、ユーザーは重要なプロセスデータをリアルタイムでログ化およびレビューすることができます。この資産は、高い信頼性と拡張性を兼ね備えて設計されており、ユーザーは複数の原子炉や生産現場からデータを収集して保存することができます。このデータは、統計的プロセス制御およびその他の重要なエンジニアリングおよびプロセス開発タスクのために、プロセスのパフォーマンスを監視するために使用できます。Concept 3 Speedの高度な構成オプションにより、生産プロセス全体を正確に制御でき、堅牢で信頼性の高いシステムは、最高の生産品質が維持されるように設計されています。さらに、工具不要の構成とプロセスレシピ間の迅速でクリーンな切り替えにより、NOVELLUS Concept 3 Speedは、高度なプロセスをコスト効率よく正確かつ迅速に生産するための理想的なマシンです。
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