中古 NOVELLUS Concept 3 Speed #293592759 を販売中

NOVELLUS Concept 3 Speedは、半導体・太陽光発電産業で使用される高性能の化学蒸着（CVD）炉です。基板の読み込みとアンロードが高速化され、スループットが向上し、プロセスの均一性が向上します。Concept 3 Speedには3つの処理段階があり、それぞれがCVDプロセスから異なる結果を生成するように設計されています。第1段階は、プラズマ発生器とカルーセル制御のるつぼで構成されており、基板の自動積載が可能です。この段階は、プラズマ反応で使用されるガスを制御することによって、望ましい材料の均一なコーティングを保証するのに役立ちます。第2段階は、ハイレート蒸着用に設計されており、シールドされた複数UT™（均一テーパー）シャワーヘッドを使用しています。このシャワーヘッドは、蒸着ガスの正確で均一な分布を提供するように設計されており、その結果、より速く、より高いフィルム蒸着速度が得られます。最後に、第3段階は、基板の高速蒸着と急速な冷却を可能にするために使用されます。クールダウンチャンバーで構成されており、基板表面を直接冷却して、フィルム冷却と材料温度の低下を実現します。これは、過熱のリスクを軽減するのに役立ち、不要な結果につながる可能性があります。また、第3段には、室内容積内に存在するガスを排出し、室内を清潔に保つ低圧システムも組み込まれています。結論として、NOVELLUS Concept 3 Speedは、基板の積み降ろし、スループットの向上、プロセスの均一性の向上を可能にする高度で高性能なCVDリアクタです。CVDプロセス中のあらゆる基板に精密で一貫したコーティングを提供するために、3つのステージで構成されています。