中古 NOVELLUS Concept 3 Speed XT #9382870 を販売中

NOVELLUS Concept 3 Speed XT Reactorは、ヘビーエッチングと高度なCVD蒸着を実現する画期的な技術です。Xシリーズは、高速処理時間、優れた均一性、および歩留まり向上を可能にするように設計された特許取得済みのモジュラー機器です。多種多様な基板で大量生産に最適です。3速の構成、堅牢な設計、優れたプロセス制御により、Concept 3 Speed XT Reactorは、最も要求の厳しいプロセスにおいて前例のない精度と再現性を提供します。原子炉は非常に汎用性が高く、湿式とPECVDの両方の方法で動作することができます。オープンケージ構成により、プロセスの均一性が向上し、前任者と比較して運用コストが削減されます。また、熱伝達システムを一体化しているため、発熱を低減し、ユニットの効率を最大限に高めることができます。統合されたインテリジェントツール制御により、複雑なレシピの効率的な処理とプロセスの迅速なセットアップが可能です。NOVELLUS Concept 3 Speed XT Reactorは、汚染のリスクを低減し、生産性を向上させる自動洗浄機で、クラス最高の反射性と吸収性の材料処理能力を提供します。オートシム機能により、工具の表面レベルを簡単に調整して変化するプロセス要件を満たすことができます。また、ガスハンドリングツールは、高度なガス流量制御のために統合されたセンサーを使用します。コンセプト3 Speed XT Reactorは、高度なプロセス監視機能を備えた製品基板上の業界をリードする低粒子レベルを提供します。厳しい圧力と温度制御により、この原子炉は高いレベルのプロセス品質と信頼性を保証し、その基板の範囲全体で最高の歩留まり対価比率を提供します。また、高い柔軟性を備えているため、お客様とその用途に合わせて工程を調整することができます。NOVELLUS Concept 3 Speed XT Reactorは、要求の厳しい大量生産に最適です。堅牢で安全な設計、統合された熱伝達アセット、高度なプロセス制御機能により、最高のパフォーマンスと均一性を実現します。オートシムおよびガスハンドリングモデルは、複数の基板および複雑なレシピの迅速なセットアップと効率的な処理を実現します。さらに、その低粒子設計は、最高の収率とクラス最高のプロセス品質を保証します。