中古 NOVELLUS CONCEPT 3 Speed XT #9258492 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 3 Speed XT Reactorは、半導体製造プロセス向けに特別に設計されたモジュール式のハイスループット真空装置です。このシステムは、原子炉室、ポンピングユニット、プロセスモジュールで構成されています。原子炉室は、運転中に上下または周囲を移動するように設計されたユニークなステッピングモーター式の鉄骨フレームです。ハイスループットモジュラーロードロックマシンを備えており、堆積、エッチング、表面変更などの複数のアプリケーションに構成できます。ポンピングツールは、真空ポンプ、スロットルバルブ、ガススロットルライン、およびフィルターで構成されています。これは、低圧および高スループット動作を可能にする高スループット透析アセットを備えています。真空ポンプは、信頼性と効率的なクリーン動作を保証する多段式設計を備えていますが、スロットルバルブは最適な性能のためにモデル圧力の調整を可能にします。また、プログラマブルなサーマルコントローラとガススロットルラインにより、ガスの流れと温度を正確に制御できます。プロセスモジュールはCONCEPT 3 Speed XT Reactorの最も重要なコンポーネントです。プロセスチャンバー、絶縁領域、電源、プロセスオートメーション、低温システムが含まれています。プロセスチャンバーは、化学構造と結晶構造の両方において、独自の均一なプロセス制御を備えています。また、高スループット処理のためのハードウェア、ソフトウェア、自動ロボット自動化機能も備えています。絶縁領域は、機密部品をチャンバーのアクティブな環境から分離し、装置の継続的な動作を保証します。この電源は高精度のDC電圧を提供し、効率的な動作を実現します。最後に、低温システムは熱を減らし、プロセスの均一性を改善します。全体として、NOVELLUS CONCEPT 3 Speed XT Reactorは、ハイスループット処理のためのユニークな機能を備えた先進的なモジュラー半導体製造ユニットです。そのモジュラーロードロックマシンは、さまざまなアプリケーションに対応するように簡単に構成できますが、ポンピングツールは非常に効率的で信頼性があります。そのプロセスモジュールはこの資産の中心であり、化学構造と結晶構造の効率的かつ正確な制御を誇っています。このモデルは、あらゆる半導体製造プロセスに最適であり、非常に高いスループットで高速で信頼性の高い処理を提供します。