中古 NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT #9390429 を販売中
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NOVELLUS Concept 3 Speed NEXTリアクターは、映画蒸着用途向けに設計された先進的な高スループット蒸着システムです。モジュール式でスケーラブルなアーキテクチャを備えており、シングルウェーハからフルウェーハ成膜まで、幅広いプロセスのニーズに合わせてカスタマイズできます。このシステムは、厚さの均一性と再現性を含む、フィルム特性の優れた均一性のために設計されており、すべての基板タイプにわたって層間およびウェーハ間の一貫性を提供します。Concept 3 Speed NEXTは、業界をリードするハイスループットプロセスチャンバーを備えており、従来のシステムに比べて最大4倍の速度と容量の向上を実現します。垂直リフトプロセスチャンバーとトップマウントされた強化ウェーハジオメトリモジュールを使用しており、高い蒸着速度で均一な薄膜性能を実現します。特許取得済みのDAC (Dynamic Activity Control)テクノロジーにより、すべてのウェーハサイズにおける速度と均一性がさらに向上します。NOVELLUS Concept 3 Speed NEXTのユーザーフレンドリーな高度なプラットフォームは、常に最新の直感的なインターフェースを提供し、原子炉の構成と制御を容易にします。Concept 3 Speed NEXTはまた、厳格なサイバーセキュリティプロトコルの下で動作する安全なプラットフォームであり、将来のシステムアップデートのためにより多くの顧客やプロセスデータへのアクセスを提供します。全体として、NOVELLUS Concept 3 Speed NEXTは、優れた膜均一性と再現性を必要とする高スループット蒸着アプリケーションに理想的な原子炉です。効率的な垂直プロセスチャンバー、強化されたウェーハジオメトリ、加速速度、安全なデータ分析を組み合わせ、業界最高のパフォーマンスとスループットを提供します。
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