中古 NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT #9235680 を販売中

NOVELLUS Concept 3 Speed NEXTは、高度な半導体アプリケーション向けに特別に設計された化学蒸着（CVD）装置です。ポリシリコン、酸化ケイ素などの用途に最適なハイスループットソリューションを提供します。コンセプト3 Speed NEXTリアクターは、特許取得済みのブレードカセット配送、ロボット自動化、および複数の温度ゾーン機能など、NOVELLUSの最新の先進技術を統合しています。その革新的なデザインは、優れた製造品質とコスト効率を保証します。NOVELLUS Concept 3 Speed NEXTは、低圧3速チャンバー、予熱チャンバー、4ウェイバルブ付きガスボックスを備えています。低圧チャンバーには、高品質の加熱および冷却素子、超低熱ドリフト、および低圧制御が装備されています。金属で裏打ちされたポートにより、素早い基板の積み下ろしが可能です。予熱チャンバーは、最高の蒸着速度を確保するための追加の温度制御を提供します。このシステムは、加熱/冷却されたチャックと加熱/冷却された壁を介して正確な温度制御を提供します。フィルムの厚さ、粒度、プロセスの均一性を正確に制御できるように設計されています。また、シラン、六フッ化硫黄、ヘリウムなどの前駆ガスも低圧で供給されます。ユニット中央の4ウェイバルブは、迅速かつ正確な前駆体の配達と迅速な反応時間を可能にします。コンセプト3 Speed NEXTには、最大スループットを達成するために設計された多数の高度なデータシステムもあります。高速で信頼性の高いロボットアームにより、ウェーハを迅速かつ効率的に配置できます。その高度な自動化により、レシピを迅速かつ簡単にプログラミングし、ミリ秒単位で堆積物を作ることができます。全体として、NOVELLUS Concept 3 Speed NEXTは、最先端の半導体アプリケーションの要求に応えるように設計された非常に高度な原子炉機械です。比類のない精度、スピード、プロセスの均一性を提供し、今日のメーカーに最適です。