中古 NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT #9203466 を販売中
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販売された
ID: 9203466
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
CVD System, 12"
System information:
Process: STI/IMD
Slit valve type: SMC L-Motion
TM Turbo pump model: PFEIFFER TMH261 PXS
TM Throttle valve model: MKS
TM Baratron model: MKS
Loadlock baratron: MKS
IOC Version: V 4.6
TM Robot type: Mag 7
TM Robot blade: Ceramic
Wafer sensor: Existence
Single tower
Front monitor: 12" LCD
Fab
EMO's: Push button
Host interface: GEM
ATM Robot: ATR8
VAC Robot: MAG 7
Loadlock valve: SMC
ATM Loadlock valve: VAT
Pod loader: BROOKS Fixload 6M
Module A / B / C:
Chamber type: NeXT
Chamber Process: SIT/IMP
Process clean type: NPP RPC
Module controller: MC3
Module turbo pump: LEYBOLD MAGW2000CT
Pendulum valve: MKS
Temperature monitoring: NTM500
HF Generator: AE 10K
MF Generator: AE PDX_5000
LF Generator: AE PDX_8Q00
RF Match: AE Navigator 10013 U
IOC Version: V4.72
Dual clean injector kit
Injector type: Star short
Louvered screen
Pedestal lift type: Servo motor
Foreline type: Large
EPD
Black shield
Module A:
Chamber gas box:
MFC Gas MFC Size MFC Model
MFC1 SiH4 100 sccm BROOKS SLA7950S
MFC2 SiH4 200 sccm BROOKS SLA7950S
MFC8 Ar 3000 sccm BROOKS SLA7950S
MFC5 H2 1500 sccm BROOKS GF125C
MFC3 NF3 5000 sccm BROOKS SLA7950S
MFC9 02 500 sccm BROOKS SLA7950S
MFC6 Ar 500 sccm BROOKS SLA7950S
MFC7 HE 1000 sccm BROOKS SLA7950S
Module B:
Chamber gas box:
MFC Gas MFC Size MFC Model
MFC1 SiH4 100 sccm BROOKS GF125C
MFC8 Ar 3000 sccm BROOKS SLA7950S
MFC5 H2 1500 sccm BROOKS SLA7950S
MFC3 NF3 5000 sccm BROOKS GF125C
MFC9 02 500 sccm BROOKS SLA7950S
MFC7 HE 1000 sccm BROOKS SLA7950S
Module C:
Chamber gas box:
MFC Gas MFC Size MFC Model
MFC1 SiH4 100 sccm BROOKS SLA7950S
MFC2 SiH4 200 sccm BROOKS SLA7950S
MFC8 Ar 3000 sccm BROOKS GF125C
MFC5 H2 1500 sccm BROOKS GF125C
MFC3 NF3 5000 sccm BROOKS GF125C
MFC9 02 500 sccm BROOKS SLA7950S
MFC6 Ar 500 sccm BROOKS SLA7950S
MFC7 HE 1000 sccm BROOKS SLA7950S
UPS Power: 120 V, 3￠, 3 Wires
Power: 208 V, 3￠, 5 Wires
2005 vintage.
NOVELLUS Concept 3 Speed NEXTリアクターは、研磨制御、効率、再現性の大幅な進歩を提供するために設計された最先端の化学機械平面化（CMP）ツールです。コンセプト3 Speed NEXTは、高速蒸着のためのPECVD技術と、性能向上のための独自の高速ショートストローク研磨装置を採用しています。このシステムは、従来のCMPシステムと比較して、スループットの向上、均一性の向上、および優れた再現性を提供することができます。NOVELLUS Concept 3 Speed NEXTの高度なリニアモーション位置決めメカニズムにより、より高速で精密な研磨作業が可能になります。これにより、繊細な地形を持つ高生産運転に最適です。独自の設計により、研磨プロセスに伴うウェーハの損傷も大幅に低減します。Concept 3 Speed NEXTは、CMP動作時にウェーハ表面に均一な温度を維持する電気熱安定化ユニットを備えており、一貫性のある研磨結果を保証します。NOVELLUS Concept 3 Speed NEXTには、最適な性能を確保するための高度な制御システムが多数搭載されています。研磨速度、力、圧力を自動的に設定するクローズドループサーボ機構、動圧補償機、温度制御洗浄機能などがあります。反応チャンバーはまた、CMP結果を改善するための研磨プロセス中に化学プロモーターと阻害剤を追加することができます。Concept 3 Speed NEXTには、セラミック発熱体や自動ウェハカセットの負荷機能など、さまざまな安全機能が搭載されています。高度な診断と予測メンテナンスツールは、NOVELLUS Concept 3 Speed NEXTが常にピーク動作状態にあることを保証するのに役立ちます。要約すると、Concept 3 Speed NEXTは信頼性の高い最先端の化学機械研磨ツールです。その高度な機能は、従来のCMPシステムと比較して優れたスループット、均一性、再現性を提供します。多数の洗練された制御システムは、最適化されたパフォーマンスと信頼性の高い結果を保証します。さらに、安全機能と予知保全ツールにより、怪我のリスクをさらに最小限に抑えます。
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