中古 NOVELLUS Concept 3 Speed NEXT #9170858 を販売中

NOVELLUS Concept 3 Speed NEXTは、基板上に超薄膜を形成する最先端の原子炉です。この原子炉は3速サイクルアプローチに基づいており、CVDプロセスを最大50％短縮するように設計されています。それはわずか数秒で薄膜とステップを形成することができ、時間とお金を節約します。コンセプト3 スピードNEXTリアクターは、3つの独立したソースとタレットヘッドで構成されています。3つの源はヘリウム、窒素、アルゴンである。タレットヘッドには3つの静電閉じ込めポート、2つは応用イオン化プラズマ源、1つは種の中和のために装備されています。プラズマ源は反応速度を高め、フィルム特性を高めます。3ソースのコンセプトの主な利点は、均一な膜厚、熱損傷の低減、堆積パラメータの完全な制御です。3速サイクルアプローチは、圧力、温度、およびリアクタント濃度を変更することによって動作します。これにより、非常に薄いフィルムや短い沈着時間のステップの形成が可能になります。3スピードサイクルにより、基板全体に均一に膜を堆積させることができます。これは、3つの源のバランスの取れた温度分布、増強されたリアクタント拡散、および敏感な基板への低熱損傷によって可能になります。NOVELLUS Concept 3 Speed NEXTリアクターは、フィルム形成の全体的な品質を向上させながら、スループットを向上させるように設計されました。高いスループット能力を備えており、本番環境での要求の変化に迅速に対応できます。さらに、プロセス制御、均一な膜厚、ウェーハ表面の均一性を向上させます。全体として、コンセプト3 Speed NEXTリアクターは、高度なデバイス生産の高度な均一なフィルムとステップを作成するための強力で柔軟なツールです。それは他の技術によって一致させない費用および時間の効率を両方提供します。これにより、高い精度と信頼性を必要とする幅広いアプリケーションに最適です。