中古 NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9410799 を販売中

NOVELLUS Concept 3 Speed Maxは、半導体製造用の高度な化学蒸着炉です。これは、最先端の半導体技術をサポートするために、高性能と高スループットを提供するように設計されています。この原子炉は、独自の2段階の多周波数ストリップ装置を使用して、高いレベルの基板加熱均一性、改善されたプラズマ均一性、およびプロセスの再現性を提供します。Concept 3 Speed Maxにはモジュラーアーキテクチャがあり、さまざまなウェーハサイズとプロセス要件に合わせて構成することができます。原子炉は、ガスの流れ、温度、圧力の広い範囲を維持することができ、堆積プロセスの最適な制御を可能にします。さらに、リアルタイムの温度補償機能を搭載し、均一なギャップフィルと密度制御を実現します。また、クロスコンタミネーションを低減し、ローディングとアンロード時間を向上させる自動ウェーハトランスファー技術も搭載しています。NOVELLUS Concept 3 Speed Maxは、完全に自動化されたエンドポイント検出ユニットを備えており、サイクルタイムの短縮と再現性の向上を実現します。リアクターには、リアルタイムのデータ分析とプロセス最適化を可能にするデータ収集機もあります。このツールはまた、前面の均一性を向上させ、ホットスポットを防ぐために熱衝撃減少アセットを使用しています。これにより、ストレスによる欠陥を低減し、デバイスの長期的な信頼性を向上させることができます。これらの機能はすべて、Concept 3 Speed Maxを最も先進的な原子炉の1つにしています。この原子炉は比類のないレベルの性能と再現性を提供し、より速い生産、より高い歩留まり、より良い信頼性を可能にします。さらに、各ユーザーのニーズに合わせて完全に拡張可能で構成可能なように設計されています。NOVELLUS Concept 3 Speed Maxは、高品質で高性能な結果を求めるあらゆる半導体メーカーに利益をもたらす強力な蒸着ソリューションです。