中古 NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9352258 を販売中

NOVELLUS Concept 3 Speed Maxリアクターは、材料の薄膜を基板に堆積させるために使用される最先端の化学蒸着（CVD）装置です。このシステムは、誘電体、金属、およびその他の材料を高い速度で均一に堆積させるように設計されており、高性能デバイスの生産を可能にしています。このユニットは、多彩なマルチゾーンソース技術を使用して、基板全体のパラメータの均質性と制御を向上させます。マシンは、3つのステージからなる単一のオールインワンプラットフォームで構成されています。最初の段階は、プラズマ放電源、マルチゾーンRF容量結合プラズマグリッド、および均質性制御を強化するマルチゾーン磁石からなる無線周波数（RF）プラズマ源です。第2段階は、ウェーハチャンバー加熱ヘッド、蒸着ヘッド、フェニルサンプラーを含むCVDチャンバーです。ウェーハチャンバー加熱ヘッドは、材料の均一な蒸着を確保するためにウェーハを加熱するために使用されます。蒸着ヘッドには、材料を所望の速度でチャンバーに導入するために使用されるプロセス源が含まれています。フェニルサンプラーは、リアクタント濃度を測定し、蒸着プロセスを監視するために使用されます。RFプラズマソース、CVDチャンバー、フェニルサンプラーが連携して、最適な蒸着性能を備えたConcept 3 Speed Maxを提供します。このツール全体は、高出力率と薄膜の非常に均一な成膜のために設計されており、並外れたプロセスの再現性と制御を可能にします。さらに、このアセットは1ウェーハあたり1分未満のサイクルタイムも提供しており、幅広い生産ニーズに対応する費用対効果の高いソリューションとなっています。NOVELLUS Concept 3 Speed Maxは、生産効率を向上させるための優れた選択肢です。RFプラズマ源、CVDチャンバー、フェニルサンプラーを組み合わせることで、薄膜の優れた成膜制御により高性能デバイスを実現する強力なプラットフォームとなります。このモデルのサイクルタイム、制御性、再現性、均質性により、あらゆる成膜状況に最適なソリューションとなります。