中古 NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9259681 を販売中
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販売された
ID: 9259681
CVD System, 12"
Wafer type: Notch
Signal tower
PEC Module
Foop: BROOKS AUTOMATION
Foop type: 3-Port
BROOKS Magnatran 7 TM Robot
TM Robot blade: Ceramic
Load lock convectron: 275 min
L/L Baratron: MKS
TM Baratron: MKS
L/L Slit valve type: VAT
Module slit valve type: SMC
PFEIFFER TM Turbo pump
MKS TM Throttle valve
VAT TM Line valve
BROOKS AUTOMATION ATM Robot
ATM Robot blade: Arm metal
AWC Sensor
UI Type: LCD
EMO's: Push button
Host interface: SECS
Chaser: CRT Monitor
IOC Version: 4.72
SSD Type: C3-PDRS
(3) SMC XGT300-30-1A-X2 TM Value, P/N: 60-251903-00
Load lock value: VAT 03012-LA24-0001/0503, A-62591
Chamber A, B and C:
Chamber type: Speed max
Chamber process: ILD
ESC Type: Notch
Manometer (10T): MKS
Manometer (30T): MKS
Manometer (100m): MKS
Throttle valve: NC TBV-IQA-200-NW-50
Dual pedestal lift
LEYBOLD MAG200CT Turbo pump
ESC / Dome Cooling
Dual clean injector kit: Single RPC
Process clean type: RPC
Temperature monitoring: Dome monitor 201
ADVANCED ENERGY 10013 Navigator RF Match
VERITY EPD, P/N: 1005972
Black shield
MOOG SMART Motor
No module dry pump
Chamber A:
Type / Make / Model / Gases / Size
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / O2 / 500 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / NF3 / 5 SLM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / H2/CF: 0.727 / 1.5 SLPM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / Ar / 3000 SCCM
MFC / HORIBA / Stec (Z500, SEC-Z512MGX) / N2 / 300 SCCM
MFC / HORIBA / Stec (Z500, SEC-Z512MGX) / SiH4 / 200 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / Ar / 500 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / HE / 1000 SCCM
Chamber B:
Type / Make / Model / Gases / Size
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / O2 / 500 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / NF3 / 5 SLM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / H2 / 1500 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / Ar / 3 SLPM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / SiH4 / 100 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / SiH4 / 200 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / Ar / 500 SCCM
UPC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / HE / 1000 SCCM
Chamber C:
Type / Make / Model / Gases / Size
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / O2 / 500 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / NF3 / 0.5 SLPM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / H2 / 1500 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / Ar / 3000 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / SiH4 / 100 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / SiH4 / 200 SCCM
MFC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / Ar / 500 SCCM
UPC / BROOKS AUTOMATION / SLA 7950S / HE / 1000 SCCM
Missing parts:
MC3 Controller: MKS AX7670-21 3L Remote Plasma Source (RPS)
NTM Delta controller
PDX 5000 / PDX 8000 / Apex 10K Generators
Turbo pump controllers
Missing parts for chamber A, B and C:
Apex 10013 HF Generator
PDX 8000 MF Generator
PDX 5000 LF Generator
NTM
Uninterruptable Power Supply (UPS): 208 V, 50/60 Hz, 4-Wires
Power supply: 208 V, 50/60 Hz, 5-Wires
2007 vintage.
NOVELLUS Concept 3 Speed Maxは、材料膜の形成とプロセス時間短縮機能を向上させた先進的な化学蒸着（CVD）炉です。主に半導体産業、特に誘電体・金属の蒸着用として開発されています。Speed Maxリアクターは、反応室、プロセスガス供給装置、制御システム、および加熱ユニットで構成されています。反応室は正確な沈着率を保障するために自動化された付属品が装備されているガラスによって囲まれるステンレス鋼の容器です。プロセスガス搬送機は、ガス圧力、温度、湿度の制御と制御を可能にします。加熱ツールは強力で、チャンバー全体で均一な温度を維持するように設計されています。また、プロセス圧力、温度、ガス流量、蒸着速度などのプロセスパラメータを正確に操作できる高度な制御アセットを備えています。このモデルでは、温度、圧力、ガスの流れを含むチャンバー条件のリアルタイム監視も可能です。Speed Maxは、材料の蒸着時間を最小限に抑えるように設計されたユニークなバッチスタイルの蒸着も備えています。この原子炉はあらかじめ決められたバッチにフィルムを堆積させるために事前にプログラムすることができ、より速く、自動化された生産を可能にします。さらに、装置は複数の基板ホルダーで構成することができ、プロセスをさらに高速化することができます。この原子炉はまた、優れたプロセス再現性を提供するように設計されており、満足のいくフィルム形成を確保するために不可欠です。さらに、システムの高度なソフトウェアは、環境条件に関係なく、再現性のあるプロセス結果を保証します。最後に、このソフトウェアは、潜在的なプロセスの問題を診断し、最適化するのにも役立ちます。コンセプト3 Speed Maxは、強力で高度な原子炉であり、半導体メーカーにとって必須のものです。これは、再現可能な結果で最も正確で迅速な堆積プロセスを約束します。Speed Maxは、最新の蒸着方法を探している業界の人々に競争力を提供します。
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