中古 NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9235679 を販売中

NOVELLUS Concept 3 Speed Max （C3S Max）は、半導体業界で化学蒸着（CVD）加工に使用される先進的なツールです。この原子炉は、優れた均一性を持つ薄膜材料の高速処理を提供するように設計されており、高品質の薄膜の効率的で信頼性の高い生産を可能にするために、さまざまな機能を備えています。C3S Maxには、回転基板搬送が可能な底段、そのプライマリチャンバー、回転可能な上部電極、およびコントローラなどの他の要素を含む多数のコア部品があります。最下段は、薄膜を作るために、上部と下部の電極の間に基板を輸送します。このチャンバーは、生産中に高いスループットを維持するために非常に効率的に設計されています。また、薄膜成膜、アニーリング、エッチング、診断、環境制御、レシピコントロールなどのさまざまな機能も備えています。上の電極はC3S Max装置の重要な部分であり、薄膜を作成するために必要なエネルギーを提供する責任があります。電極は調節可能であるように設計されています、異なったレベルの力を可能にし、沈殿させたフィルムの異なった形。これにより、アプリケーションの要件に応じて、異なる厚さと形状のフィルムを製造することができます。コントローラはシステムのコマンドセンターであり、オペレータにレシピの入力、プロセス結果のレビュー、ユニットの監視、およびパフォーマンスを最適化するためのパラメータの調整に必要なツールを提供します。コントローラはまた、オペレータが機械を自動化するために複数の基板のレシピを入力することを可能にします。全体として、NOVELLUS C3S Maxは、高性能の薄膜を製造するための高度なツールです。さまざまなコンポーネントを組み合わせることで、オペレータは優れた再現性と均一性を備えたフィルムを作成すると同時に、ダウンタイムを最小限に抑えながら効率的で信頼性の高い生産を可能にします。このツールの調整可能なパラメータにより、フィルムの厚さと形状を迅速かつ正確に調整することが可能になり、アセットを特定のアプリケーション要件に合わせてカスタマイズすることができます。