中古 NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9195754 を販売中

NOVELLUS Concept 3 Speed Maxは、半導体ファウンドリで一般的に見られるタイプの原子炉であり、半導体部品の製造において非常に正確なプロセスを生成することができる高度なものです。コンセプト3スピードマックスリアクターは、精度と精度の高い薄膜の非常に高品質の層を作成するように設計されています。この原子炉は、PVDプロセスを利用して、金属や化合物を含むさまざまな材料を基板に堆積させることで、堆積層の生産に非常に効率的に設計されています。加工される基板のサイズや材質に応じて使用できるチャンバーの範囲があります。例えば、小さな基板用の小さなチャンバー、より大きな基板用の高出力チャンバなどです。NOVELLUS Concept 3 Speed Maxリアクターを使用して薄膜を作成するプロセスは、通常、蒸着室に蒸着源などのガス源を導入することから始まり、一連のステップで達成されます。このガスは、堆積する材料に従って加熱され、加圧され、堆積室の源室に送られます。蒸着チャンバーでは、気体の分子が基板と衝突し、材料が表面に沈着する原因となります。材料は、高出力イオンビーム、通常はイオン化アルゴンビームによって加熱され、粒子を融合させ、不透明度の均一な層を提供します。基板はさらにイオンを活性化し、堆積プロセスを完了するために紫外線光源にさらされます。Concept 3 Speed Maxの高速により、非常に正確な層の堆積が可能になり、非常に一貫した膜の層が生成されます。また、原子炉は非常に化学的に安定しており、より複雑な化学プロセスを必要とする材料を処理することができます。さらに、レーザーパターニングや画像認識などの先端技術を用いて、堆積膜の精度を向上させています。全体的に、NOVELLUS Concept 3 Speed Maxは、薄膜の堆積を優れた制御を提供する高度な原子炉です。優れた精度と精度で、非常に一貫した結果を達成することができます。効率と幅広い用途を備えたConcept 3 Speed Maxは、半導体部品の製造に最適です。