中古 NOVELLUS Concept 3 Speed Max #9167157 を販売中

NOVELLUS Concept III Speed Maxは、半導体産業における薄膜の蒸着用に設計された高性能の垂直化学蒸着（CVD）炉です。高い生産性、拡張性、構成可能なプラットフォームです。この原子炉は、金属から多結晶シリコンまで幅広い蒸着プロセスが可能であり、業界をリードする蒸着速度で実行することができます。NOVELLUS Concept III Speed Maxはユーザーを念頭に置いて設計されています。プラットフォームは、さまざまな動作条件で構成、維持、操作が簡単です。これは、完全に自動化されたチャンバー、調整可能なガスの流れと圧力、および高精度で反復可能なプロセスパラメータを可能にするキネマティックリンケージを備えています。このチャンバーはまた、手動バルブのメンテナンスを排除するフロースルーガス供給システムを備えています。NOVELLUS Concept III Speed Maxは、高いスループットと高い選択性で最大5つの異なる材料を同時に堆積する機能をユーザーに提供します。また、高いスループット率で均一な厚膜を堆積できるように設計されています。さらに、リアクターは、異なるウエハサイズに合わせて調整できる調整可能な基板ホルダーを備えており、チャンバのピーク性能を確保するために材料ごとに正確に調整された調整可能な反応ゾーンを備えています。NOVELLUS Concept III Speed Maxは、幅広いアプリケーション向けに高度なCVD成膜を提供する汎用性の高いプラットフォームです。薄膜成膜に最適な性能と安全性を備えています。また、この原子炉は業界最高水準のスループット・レートを提供しており、ユーザーはより速いサイクル・タイムを提供して、プロセス目標をより速く達成できるようにしています。さらに、NOVELLUS Concept III Speed Maxは、チャンバーを構成して、特定のアプリケーション要件に合わせたカスタマイズされた堆積レシピとパラメーターを提供する機能をユーザーに提供します。全体として、NOVELLUS Concept III Speed Maxリアクターは、さまざまな薄膜蒸着アプリケーションに適した、高性能、汎用性、構成可能な蒸着プラットフォームです。幅広いプロセス能力を提供し、複数の材料に対して高いスループットと選択性を実現します。