中古 NOVELLUS Concept 3 Inova #9259672 を販売中
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ID: 9259672
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2000
PVD Systems, 12"
Process: MPD (WTS-HV)
(4) Chamber: Q300 AL, Q300 TiN, (2) TiHCM
EFEM:
Load port: (2) FOUPs
Right with keyboard, mouse and monitor
Clean room wall interface
Wafer / FOUP: 25
BROOKS AUTOMATION ATM Robot
PEC Station
17-PEC Slots
ATM
WTS-HV:
(2) BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 Robots
Robot blade: Ceramic, dual
SIOC: 0-4
Cryo HUB
IS-8F (On-Board) Cryo pump
(6) VAT Isolation valves
No MC3 System controller
No MC3 Handler controller
Left and right load lock:
TMH 071P Turbo pump
VAT Isolation valve
Left and right degas:
TMU 521P Turbo pump
VAT Isolation valve
Cool:
TMH 071P Turbo pump
Q300 AL and Q300 TIN:
No module controller
On-Board Cryo pump
V250 Turbo pump
On-Board Controller
Trust controller
MKS 649 Pressure controller
LPB
SIOC
ESC Pedestal
MFC (Ar, 200 SCCM)
MKS MFC (N2, 200 SCCM)
AERA UPC (300 SCCM)
INFICON Ion gauge
Anafazer Module
(2) HCM TI:
No module controller
On-Board Cryo pump
V250 Turbo pump
On-Board Controller
Trust controller
MKS 649 Pressure controller
LPB
SIOC
ESC Pedestal
MFC (Ar, 200 SCCM)
MKS MFC (N2, 200 SCCM)
MYKROLIS UPC (300 SCCM)
MYKROLIS Ion gauge
Anafazer Module
Electric cabinet rack (AL / TIN):
TREK 684-1 ESC Power supply
CPW2870B10 CPI DC Power supply
Electric cabinet rack:
TREK 684-1 ESC Power supply
(2) CPW2870B10 CPI DC Power supplies
(8) DCS80-13E EM Coil power supplies
Miscellaneous parts:
AFFINITY EWA-23DK-HE04CBC Chiller
POLYCOLD PGC-150 Chiller
POLYCOLD 1XCL Chiller
CTI 9600 Compressor
SPUD Gas box
Vacuum jacket lines
Cable box
Shield box
Spare parts
Missing parts:
MC3 Controllers for system and module
MKS 651D-16202 Throttle valve controller
(4) Z-Table movement controllers, P/N: 19-131418-00
POLYCOLD 1XCL Closed loop gas chiller
VAT Valve, P/N: 07512-UA24-0001
TMP Controller, P/N: 19-126817-00 Rev B and 88-30620-000
CTI-CRYOGENICS Controller, P/N: 823247G001
(2) ADVANCED ENERGY RFG 1251 Generators
VERIFLO SQMICRO302PFSFF Manual valve, 1/4 VCR, 2-way female
(3) CTI-CRYOGENICS 9600 Compressors
MAG7 Robot
2000 vintage.
NOVELLUS Concept 3 Inova Reactorは、ファインケミカルを合成するための高スループット、連続フローリアクター装置です。これは、研究開発およびスケールアップのアプリケーションで使用するように設計されています。このシステムは、医薬品、農薬、香料、ポリマーなど、さまざまな化合物の合成に使用できます。このユニットは、3段階の連続フローリアクター設計を備えており、さまざまな材料の信頼性と一貫した合成を可能にします。第1段階は射出成形炉で、反応剤と触媒を含む加熱液流が混合される。ヒーターは流れの温度を監視し、50-400°Cの間の温度に流れを熱することができます。第2段階は、反応剤の効率的かつ完全な変換を可能にするために均質な混合が発生する攪拌容器です。第3段階は、反応生成物が分離されて収集される分離器です。Concept 3 Inova Reactorは、オンボードガス監視機、過圧時の自動シャットダウン、有害ガスの自動ロックアウト、緊急停止装置など、さまざまな安全機能を備えて設計されています。原子炉には、資産パラメータの監視と制御を可能にするコンピュータベースの制御ツールも装備されています。これは、効率的なプロセス監視、制御、自動化、およびデータロギングのために、コンピュータまたはプログラマブルロジックコントローラ（PLC）とインタフェースすることができます。また、反応温度を制御する電気ヒーターも備えています。このヒーターは-50から+250°Cの範囲内で調節可能です。さらに、このモデルは様々な触媒で使用するように設計されており、反応条件や動作変数の変化に対応することができます。NOVELLUS Concept 3 Inova Reactorは、原子炉の洗浄に必要な時間と労力を削減するために、自動化された洗浄システムを備えています。これらのシステムは、機械的および化学的処理方法の組み合わせを使用して、原子炉室を自動的かつ徹底的に清掃します。必要な洗浄時間を最大90％短縮できるため、プロセスサイクル完了率を高速化できます。コンセプト3 Inova Reactorは、研究、開発、スケールアップ用途における小分子およびファインケミカルの生産のための非常に効率的で費用対効果の高いツールです。その3段階の連続フローリアクター設計、安全機能、コンピュータベースの制御装置、自動洗浄システムはすべて、システムの効率と有効性に貢献し、多くのアプリケーションに好ましい選択肢となります。
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