中古 NOVELLUS Concept 3 Inova #293638673 を販売中

NOVELLUS Concept 3 Inovaは、基板上に化学種を堆積させるために使用される結晶性化学蒸着（CVD）原子炉です。蒸着プロセスは通常真空チャンバーで行われ、さまざまな半導体および関連材料を作成するのに理想的です。コンセプト3 Inova CVD炉は、比較的低温で欠陥密度が低く均一な成膜を可能にすることを目的としています。Inovaには2つのソース2つのシャワーヘッドモジュラー設計があり、自動入口とコンセントがあり、従来の原子炉よりも高いスループットを実現しています。その柔軟なモジュラー設計は、垂直方向と水平方向の両方、ならびに様々なガス供給および排気システムを可能にします。革新的な設計により、Inovaはさまざまなプロセス統合レシピを実行することができます。CVDリアクターは、さまざまなプロセスガスを利用し、堆積物の品質を最大化するために調整することができる優れた温度制御範囲を持っています。NOVELLUS Concept 3 Inovaは、石英入口窓、高度な暖房システム、および特定のプロセスに最適な温度範囲と均一性を保証するその他の特殊なハードウェアを備えているため、プロセスの最適化に適しています。さらに、複数の電極設計、自動ロードとアンロード、自動化された機能により、お客様のニーズに合わせてプロセスレシピを調整することができます。Inova CVDリアクターは、さまざまな光電子、ナノファブリケーション、およびMEMSアプリケーション用の材料の大面積/小面積の堆積とコンフォーマル堆積のために設計されています。高温機能、リアルタイムエンドポイント検出、品質管理などの高度な機能を備えたInovaは、高性能CVDリアクタを必要とするお客様に最適です。このシステムにはダイレクトドライブシャワーヘッドが装備されており、正確なプロセス制御と迅速な応答時間を可能にします。また、現場での洗浄も可能で、優れたフィルム品質と成膜均一制御を可能にします。全体として、Concept 3 Inovaは、優れた蒸着性能と優れた品質管理機能を提供する最先端のCVD炉システムです。この原子炉は非常に汎用性が高く、柔軟性に優れているため、さまざまな半導体および先端材料蒸着アプリケーションに最適なソリューションです。