中古 NOVELLUS CONCEPT 3 INOVA-xT #9314932 を販売中
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ID: 9314932
ウェーハサイズ: 12"
PVD System, 12"
Process: AL, TI(N)
EFEM:
Load port: (3) FOUPs
Interface: Right with keyboard, mouse and monitor
Wafer / FOUP: 25
BROOKS AUTOMATION ATM Robot
PEC Station
17-PEC Slots
Robot traverser
WTS-HV:
BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 Robot
Robot blade: Ceramic, dual
No SIOC
Cryo HUB
CTI-CRYOGENICS IS-8F (On-Board) Cryo pump
(6) VAT Isolation valves
No MC3 System controller
No MC3 Handler controller
Left and right load lock:
PFEIFFER TMH 071P Turbo pump
VAT Isolation valve
Left and right degas:
PFEIFFER TMU 521P Turbo pump
VAT Isolation valve
Cool:
PFEIFFER TMH 071P Turbo pump
Q300 AL and Q300 TIN:
No module controller
On-Board Cryo pump
VARIAN V250 Turbo pump
On-Board Controller
Trust controller
MKS 649 Pressure controller
LPB
SIOC
ESC Pedestal
MFC: Ar, 200 SCCM
MKS MFC: N2, 200 SCCM
AERA FC-980C: UPC (300 SCCM)
INFICON Ion gauge
Anafazer Module
HCM TI and HCM TAN:
No module controller
On-Board Cryo pump
VARIAN V250 Turbo pump
On-Board Controller
Trust controller
MKS 649 Pressure controller
LPB
SIOC
ESC Pedestal
MFC: Ar, 200 SCCM
MKS MFC: N2, 200 SCCM
MYKROLIS UPC: 300 SCCM
AERA FC-980C Ion gauge
Anafazer Module
Electric cabinet rack (Q300 AL):
TREK 684-1 ESC Power supply
CPI CPW2870B10 DC Power supply
Electric cabinet rack (Q300 TIN):
No ESC power supply
CPI CPW2870B10 DC Power supply
(2) Electric cabinet racks (HCM):
TREK 684 ESC Power supply
CPI CPW2870B10 DC Power supplies
(8) SORENSEN DLM 60-10 EM Coil power supplies
Miscellaneous parts:
AFFINITY EWA-23DK-HE04CBC Chiller
(3) POLYCOLD 1XCL Chillers
No SPUD gas box
Vacuum jacket lines
Cable box
Shield box
Spare parts
Desktop PC
Missing parts:
MC3 Controllers for system and module
(2) MDC KAV-075-P Angle valves
VARIAN TV250 Pump
(4) Z-Table movement controllers, P/N: 19-131418-00
CTI-CRYOGENICS Roughing valve, P/N: 8112579G003
(2) ADVANCED ENERGY RFG 1251 RF Generators, P/N: 27-156759-00 / 3155107-101
VERIFLO SQMICRO302PFSFF Manual valve, 1/4 VCR, 2 way female
(4) CTI-CRYOGENICS 9600 Compressors
BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 Robot.
NOVELLUS Concept 3 Inova XTは、集積回路の製造に使用するために設計された最先端の原子炉です。この原子炉は、化学蒸着（CVD）、原子層蒸着（ALD）、物理蒸着（PVD）などの高度な高温プロセスを使用して、優れた薄膜蒸着を可能にします。銅、チタン、アルミニウム、酸化ケイ素など幅広い材料を堆積させることができ、さまざまな部品の作成に使用できます。この原子炉は、プラズマ源、主室、排気塔の3つの主要な構成要素で構成されています。プラズマ源は、プロセスチャンバー内のガス原子のイオン化を引き起こす高エネルギー分子の源を導きます。これは、材料が処理されているとの反応を可能にします。主要な部屋は処理される材料を握り、装置の温度そして圧力を制御します。排気塔は、汚染粒子を反応および処理される材料から遠ざけるのに役立ちます。コンセプト3 Inova XTは、優れた再現性を備えた極めて精密なプロセスが可能です。マルチゾーン制御により、ワーク全体に汚染の問題を発生させることなく、均一な堆積を実現します。様々なプロセスパラメータのプログラミングが可能で、薄膜性能を最大限に引き出す最適なプロセス設定を選択できます。この原子炉の主室は、高温絶縁性を有しており、チャンバー全体に優れた熱効率と熱均一性を提供します。これは、温度が最適な動作パラメータ内にとどまることを保証するのに役立ちます。また、処理中のガスの位置やチャンバ内のターゲット材料を正確に制御できる自動追従システムを搭載しています。これにより、プロセスの再現性を最適化できます。さらに、NOVELLUS Concept 3 Inova XTには、クローズドループのプロセス制御を可能にするリアルタイム監視ユニットが装備されています。全体として、Concept 3 Inova XTは、銅統合プロセスと他の多くの関連プロセスの両方に優れた薄膜蒸着機能を提供する高度な原子炉機械です。その高温マルチゾーン制御は、プロセス全体にわたって均一な蒸着と優れた熱効率を提供します。また、プロセス全体をリアルタイムで監視することができ、プロセスの再現性を最適化し、最大限の薄膜プロセス性能を得るための最適な設定を選択することができます。
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