中古 NOVELLUS CONCEPT 3 INOVA-xT #9259673 を販売中
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ID: 9259673
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
PVD System, 12"
Process: AL, TI(N)
Degas: Left and right
(2) Q300 AL
Q300 TIN
HCM TIN
HCM TAN
Cooler
EFEM / WTS-HV
EFEM:
Load port: (3) FOUPs
User interface location: Right with keyboard, mouse and monitor
User interface configuration: Clean room wall interface
(25) Wafers / FOUPs
BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 ATM Robot
PEC Station
17-PEC Slots
Robot traverser
WTS-HV:
(2) Magnatran 7 Robots
Robot blades: Ceramic, dual
Cryo HUB
CTI-CRYOGENICS IS-8F (On-Board) Cryo pump
(6) VAT Isolation valves
Left and right load lock:
(2) PFEIFFER TMH 071P Turbo pumps
(2) VAT Isolation valves
Left and right degas:
(2) PFEIFFER TMU 521P Turbo pumps
(2) VAT Isolation valves
PFEIFFER / BALZERS TMH 071P Turbo pump
(2) Q300 AL and Q300 TIN:
On-Board Cryo pump
VARIAN V250 Turbo pump
On-Board Controller
Trust controller
MKS 649 Pressure controller
LPB
SIOC
ESC Pedestal
Mass flow controller: Ar, 200 SCCM
AERA FC-980C Mass flow controller: N2, 200 SCCM
AERA FC-980C UPC: 300 SCCM
INFICON Ion gauge
ANAFAZER Module
HCM TI and HCM TAN:
On-Board Cryo pump
VARIAN V250 Turbo pump
On-Board Controller
Trust controller
MKS 649 Pressure controller
LPB
SIOC
ESC Pedestal
Mass flow controller: Ar, 200 SCCM
MKS Mass flow controller: N2, 200 SCCM
AERA FC-980C UPC: 300 SCCM
AERA FC-980C Ion gauge
Anafazer Module
Miscellaneous parts:
AFFINITY EWA-23DK-HE04CBC Chiller
(3) POLYCOLD 1XCL Chillers
(4) CTI 9600 Compressors
Vacuum jacket lines
Cable box
Shield box
Spare parts
Desktop PC
MPD (WTS-HV)
General rack:
(2) ADVANCED ENERGY RFG 1251 RF Generators, P/N: 27-156759-00 / 3155107-101
Electric cabinet rack (Q300 AL):
TREK 684-1 ESC Power supply
CPI CPW2870B10 DC Power supply
Electric cabinet rack (Q300 TIN):
CPI CPW2870B10 DC Power supply
(2) Electric cabinet racks (HCM):
TREK 684 ESC Power supply
CPI CPW2870B10 DC Power supplies
(8) SORENSEN DLM 60-10 EM Coil power supplies
Missing parts:
BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 Robot
2004 vintage.
NOVELLUS Concept 3 Inova XTは、論理スケーリング技術の限界を広げるために設計された革新的な原子炉です。リアクタは、半導体ウェーハ上のフィーチャーの形状、サイズ、プロファイルを制御するために、イントラダイエッチプロセスを使用します。Inova XTリアクタは、精度と精度が必要な場合のマイクロパターニング用途に最適です。Inova XTリアクターは特許取得済みの独自のフラックスキャビティ設計を採用しており、高精度の精密エッチングを実現しています。この原子炉はプラズマ源で構成されており、1人のオペレータで制御できるコースと微細なノズル装置と統合されています。このシステムは、しっかりと制御されたエッチングレートを維持しながら、明確に定義されたエッチプロファイルを生成することができます。Inova XTリアクターは、高度なプロセスのますます厳しい要件を満たすように調整されています。原子炉にはバスエッチングユニットが内蔵されており、最後の液滴を積極的に除去し、汚染します。他の原子炉に関連する厄介さを排除します。この機械はまた汚染を防ぎ、優秀なウェーハ対ウェーハの再現性を促進します。Inova XTは、同時にエッチングを行うこともできます。スタガードエッチングにより、オペレータはコーナーの丸みを最小限に抑え、小さなフィーチャーサイズのスループットを向上させることができます。リアクタのFlex-Etchテクノロジーは、特定のアプリケーションのカスタムレシピ作成も可能です。これにより、ユーザーは特定のプロセスまたは基板の要求を満たすためにエッチングプロセスを調整することができます。Inova XTはまた、費用対効果の高いソリューションであるという設計を誇っています。そのユニークなアーキテクチャは、他の原子炉に通常必要な部品やポンプの数を大幅に削減します。これにより、運用コストとエネルギー消費が削減されます。さらに、原子炉には、プロセス間の切り替えに必要な時間を短縮するための組み込みの適応柔軟性も含まれています。コンセプト3 Inova XTは、エッチング機能の効率とラップされたウェーハの精度を提供する信じられないほどのエッチングリアクターです。特許取得済みのフラックスキャビティ設計と内蔵バスエッチツールを備えたInova XTリアクターは、半導体メーカーがピンポイント精度、優れた再現性、およびエネルギーコストの削減によりスループットを向上させるのに役立つ費用対効果の高いソリューションです。
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