中古 NOVELLUS Concept 3 Altus #9375599 を販売中

NOVELLUS Concept 3 Altus （C3A）は、半導体製造用に設計された業界をリードする原子炉です。このC3Aは、制御された材料特性とプロセスパラメータにおいて比類のない性能と汎用性を提供します。C3Aは、いくつかの温度、圧力、流れ、および他のプロセス条件を含むことができる3つの熱過程を収容することができる大きな長方形のチャンバーを持っています。これらのプロセスはそれぞれ独立して制御することができます。このプラットフォームには、広範な自動機能を備えたインタラクティブ制御装置が内蔵されているため、チャンバー内の正確な条件を簡単に設定および維持できます。また、C3A内部にはツインタレットシステムが組み込まれており、複数の化学蒸着（CVD）チャンバーを同じユニット内で使用することができます。これにより、同様のサイズの他のシステムが達成できるものを超える大規模なプロセス実行が可能になります。C3Aの機能は、Smart Chamber Sensing技術の実装によってさらに拡張されます。この技術は、オペレータがチャンバー内の条件を検出および監視することにより、リアルタイムでプロセス条件を調整するのに役立ちます。この結果、非常に均一なコーティングが可能となり、広範囲にわたる± 0.1µの再現性が得られます。C3Aには、熱い排気と圧力降下センサー、埋め込み保護機、小さな粒子がチャンバーから排出されるのを助ける冷却された熱プラットフォームなど、いくつかの安全機能もあります。これらの安全機能は、潜在的な偶発的な損傷からツールを保護するのに役立ちます。全体として、Concept 3 Altusは、半導体の生産における再現性と均一な結果を提供することに関して、汎用性と性能の点で等しくない画期的なリアクタ資産です。幅広いプロセス条件、安全機能、Smart Chamber Sensingテクノロジーにより、C3Aはお客様の正確なニーズに合わせた費用対効果の高いソリューションです。