中古 NOVELLUS Concept 3 Altus #9316137 を販売中

NOVELLUS Concept 3 Altus Reactorは、様々な産業用途でのダイナミックフィルム蒸着に使用される高性能、多機能蒸着装置です。この原子炉は、プロセスの安定性、信頼性、および結果の再現性を可能にするように設計された高度な非線形光学システムを備えています。コンセプト3アルタスリアクターは、イオン源、プラズマチャンバー、プレクリーンチャンバー、および10段階の4ゾーン加熱ユニットを備えた蒸着チャンバーで構成されています。ウェーハ構成は、熱拡散を最大化し、温度勾配を最小限に抑え、プロセスの一貫性と精度を確保するために最適化されています。イオン源は、基板をエッチングするために使用されるエネルギーイオンを生成したり、プラズマ室の粒子が基板と相互作用する原因となるプラズマ密度を生成するように設計されています。この相互作用は、材料をコーティングするために使用される蒸着プロセスを介して薄膜を形成します。プラズマチャンバーは、基板への円筒形の経路に沿って移動しながら、ガス相に粒子を保持する高温でプラズマを作成し、維持するために使用されます。沈着が起こる前に汚染物を取除くのに前きれいな部屋が使用され10段階、4地帯の暖房機械はプロセス安定性および均一な温度を保障するように設計されています。NOVELLUS Concept 3 Altus Reactorは、エッチングと蒸着モジュールと自動制御機能の間の優れた統合を保証するために設計されています。高解像度エッチング、化学蒸着、原子層蒸着、スパッタリングプロセスが可能です。最先端のモーションコントロールシステムにより、最大16の独立したウェーハステージの同時制御が可能になります。これは、厳しい耐性プロセス制御と製品の均一性に不可欠です。コンセプト3 Altus Reactorは、さまざまな産業堆積プロセスに理想的な選択肢です。高性能、プロセス安定性、信頼性の高い結果を再現可能な性能で提供します。その先進的なモーションコントロールシステムと正確な温度調節により、あらゆる産業用フィルム成膜アプリケーションにとって費用対効果の高いソリューションとなります。