中古 NOVELLUS Concept 3 Altus #9248122 を販売中

NOVELLUS Concept 3 Altusは、高度な半導体製造におけるさまざまな用途向けに設計された、高度な次世代エッチングリアクターです。リアクターはハードウェアとソフトウェアの両方を使用して、エッチング処理の精度とスループットを最大化します。コンセプト3 Altusは、1つの大きな3ゾーンのデュアルプラズマトーチ設計を採用しています。この構成は、前駆体のスループットの向上、沈着速度の向上、基板全体の均一性の向上など、多くの利点を提供します。このトーチは、電気効率の向上のために最適化されており、エッチング用途で高いスループットを達成することができます。さらに、3つのゾーンは、基板全体にわたってより広範囲のパワーレベルを適用することができます。この原子炉は、3段階のプラズマエッチング処理を使用するように設計されています。まず、原子炉はエッチング工程による基板の損傷を最小限に抑えるポリマー層で基板をプレコーティングします。第二に、原子炉は基板上と基層に高出力プラズマステップを適用します。最後に、原子炉は急速な等方性エッチングを可能にすることによってエッチング処理を終了します。最適なエッチング性能を得るために、NOVELLUS Concept 3 Altusは「QChamber」と呼ばれる専用コンピュータソフトウェアを使用できます。このソフトウェアは、プラズマ条件の詳細な分析を通じて各エッチング処理の最適化を保証し、またエッチプロファイルを分析するための特別な断面イメージング技術も含まれています。QChamberでは、コーディングと沈着速度、クロスオーバー検出、アークの中断など、複数のプロセスレベルの監視も可能です。QChamberに加えて、Concept 3 Altusは他のプロセス制御システムと統合することができます。これにより、エッチング処理中に、より多くのカスタマイズとより高い精度を得ることができます。また、プロセスインプレイス（PiP）洗浄などの高度な機能を使用することができ、各エッチング実行の効率を向上させます。NOVELLUS Concept 3 Altusは、現代の半導体メーカーにとって強力なツールです。これは、生産チェーンに不可欠なエッチングやその他のプロセスのための高度なレベルの精度と制御を提供します。強力なハードウェア、高度なソフトウェア、および業界をリードする機能を備えたConcept 3 Altusは、高い能力を備え、あらゆるチップメーカーに競争力を提供します。