中古 NOVELLUS Concept 3 Altus #293767143 を販売中
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ID: 293767143
ヴィンテージ: 2006
WCVD System
Chamber position / Gases
Unit 1 / WF6, AR, NF3, SIH4, H2, B2H6, N
Unit 2 / WF6, AR, NF3, SIH4, H2, B2H6, N2
2006 vintage.
NOVELLUS Concept 3 Altusは、NOVELLUS Systemsの高性能で産業規模の化学炉です。半導体、フラットパネルディスプレイ、データストレージなど、さまざまな業界の高度な成膜アプリケーション向けの柔軟なプロセスソリューションです。Concept 3 Altusは、複数の基板上に精密で均一な薄膜を作成するプロセスである熱CVD（化学蒸着）とALD（原子層蒸着）を実行します。この原子炉にはモジュール式の設計があり、インストールとメンテナンスを改善するためのプレアセンブリ装置があります。ダイナミックパージコントロールを調整してパフォーマンスを最適化できます。この原子炉には、最適な信頼性と性能を確保するために、いくつかの追加機能が装備されています。プロセスインレットガスドライヤーが統合されており、パーティクルフリードライガスを提供します。VPS （Vacuum Pressure Switching）技術により、マルチゾーンプロセスが可能です。また、高速ロードロックシステムも内蔵しています。NOVELLUS Concept 3アルタス炉には、独自の低メンテナンスの暖房ユニットがあります。これは、基板の熱応力を低減するために電気熱輸送ループを利用します。また、プロセス要件に正確にマッチした正確な温度ゾーンを作成する特別なサーマルプロファイルマシンを備えています。さらに、高度なモータ制御技術により、正確で正確で反復可能なモーションプロファイルが保証されます。コンセプト3アルタスは、そのクラスで最も先進的な産業規模の化学炉の1つです。スループットを最大化し、コストを削減し、驚異的な性能を発揮するため、優れた成膜アプリケーションにおいて競争力の高いプロセスソリューションとなります。その高度な技術と機能により、毎回信頼性と一貫したプロセスが保証されます。
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