中古 NOVELLUS CONCEPT 2 #9316802 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2は、窒化ケイ素、酸化ケイ素、その他の誘電体、バリアフィルムを堆積させるために設計された化学蒸着（CVD）原子炉です。銅の相互接続、拡散障壁、保護層などの半導体デバイス製造プロセスに使用されます。CONCEPT 2リアクターは、革新的な設計と高品質の部品により、従来の方法よりも優れた性能と信頼性を提供することができます。NOVELLUS CONCEPT 2リアクタは、長方形の反応チャンバー、ウエハボート基板ホルダー、および先進的なガス供給システムを使用して、効果的なCVDプロセスを提供します。このシステムには、高度なソフトウェアパッケージとコントローラが搭載されており、CVDプロセスの効率を最大限に高めています。CONCEPT 2リアクターには、3極マグネトロンスパッタリング源、DCプラズマ源、低電圧（LV）源、高電圧（HV）源が装備されています。マグネトロンスパッタリング源は、窒化物と酸化物の薄い層の均一な堆積を提供し、DCプラズマ源は窒化物と酸化物の平坦化層に使用されます。LVおよびHV源は、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）、シリシデーション、イオンメッキなどの追加機能を提供します。基板を汚染から保護するために、NOVELLUS CONCEPT 2 CVD炉は、クリーンで均一な蒸着を保証するいくつかの機能を備えて設計されています。最初に、独自のJetfilm保護モジュールは、沈着プロセスをチャンバー汚染物質から分離し、フッ素含有種のバックストリーミングを防止します。また、高効率ろ過式リフト、低温ウェーハ積載システム、耐腐食性ヒーターを使用して、室内の不純物の蓄積を最小限に抑えています。CONCEPT 2は、信頼性の高いプロセス性能を確保するために、高精度のオートメーションと制御でさらに設計されています。堅牢で正確なウェーハボート位置決めシステム、高度なレシピ実行機能、および蒸着プロセスの均一性と再現性を確保するためのいくつかの機能を提供します。NOVELLUS CONCEPT 2リアクターは、誘電体と障壁の最先端のアプリケーションのための任意のデバイス要件を満たすことができる非常に汎用性の高いツールです。