中古 NOVELLUS CONCEPT 2 #9315488 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2リアクターは、高度なプロセス制御と生産性を提供することにより、製造部門のニーズを満たす先端技術の化学エッチング装置です。この非常に成功したエッチングシステムは、最高レベルの生産性、精度、品質保証を提供するために作成されました。NOVELLUS Concept 1tmフィーチャーセットの先進機能と、他の最先端技術を組み合わせた堅牢なデザインに基づいています。CONCEPT 2リアクターは、優れたプロセス制御と生産性を提供するために設計された複数の機能を備えた統合ケミカルエッチングユニットです。このマシンは、パターン位置ごとに一貫したエッチング深度を確保し、最も複雑なエッチング操作をサポートするように設計された高度なエンジニアリング機能を使用しています。フィードバックループ制御ツールは、プロセス制御と精度を向上させ、生産およびプロトタイプの厳しい要件を満たすことができます。NOVELLUS CONCEPT 2リアクターは、10°Cから80°Cまでの温度制御環境で動作するように設計されており、シリコン、タングステン、金などのさまざまな基板での使用に最適です。この原子炉には、エッチングされる材料の損傷を特定し、防止するために使用されるレーザー検出資産も含まれています。また、最大2000Wまでの調整可能なパワーレベル、詳細エッチング用に最適化されたプロセスパラメータ、エッチングパラメータを1つのジョブから次のジョブに転送する機能、チャンバーごとに複数のサンプルをサポートするなど、生産性を向上させるために設計されたさまざまなプロセス機能を搭載しています。この装置の高度な機能には、基板のin situ温度を正確に制御する機能も含まれます。さらに、CONCEPT 2リアクターは、緊急停止ボタン、インターロック接点、温度制御システムなど、幅広い安全機能を備えています。また、エッチングプロセスの精密な計量と監視に使用されるさまざまな化学供給システムとセンサー技術を利用しています。この高度なエッチングシステムは、最高レベルの生産性と精度を提供するとともに、製品の品質と安全性を保証するように設計されています。NOVELLUS CONCEPT 2リアクターは、これらの最先端の機能と優れたプロセス制御機能を組み合わせることで、あらゆる生産環境での使用に適しています。