中古 NOVELLUS CONCEPT 2 #9281499 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2装置は、最先端の製造プロセスのニーズを満たすように設計された高度な産業用グレードの蒸着プロセッサです。このシステムは、モジュラー設計を使用して、コンフォーマルコーティング、原子層成膜、真空プロセス、物理蒸着などの高度な蒸着プロセスをサポートするために必要なリソースをユーザーに提供します。CONCEPT 2リアクターは、酸化還元セル、真空ポンプユニット、熱単位、プロセスチャンバーの4つの主要サブシステムで構成されています。酸化還元セルは、ターゲットと基板の2つの表面で構成されています。ターゲットは材料を堆積させる表面であり、基板は基板表面です。加熱体の助けを借りて、酸化還元セルは、ターゲットと基板の表面上の材料の均一な処理を可能にします。真空ポンプ機械は、反応チャンバ内の適切な圧力を維持するだけでなく、ほぼ完璧な真空を作成することによって、一貫したプロセス性能を確保するのに役立ちます。このツールは、低温ポンプからターボポンプまで、さまざまなポンプを使用して適切な結果を保証します。熱ユニットは、処理中に正確かつ一貫した温度制御を提供します。赤外線レーザーを使用して基板温度を検出し、加工領域の温度を正確に制御します。最後に、プロセスチャンバーを使用して、ターゲットと基板に材料を堆積させます。このプロセスでは、反応ガスとエネルギーを正確に測定したプラズマを作成し、材料粒子を励起して表面に堆積させる。チャンバーはまた、プロセスを容易にするために必要とされる様々なガスを追加し、制御するために使用される投薬チャンバーと呼ばれる別のモデルが含まれています。結論として、NOVELLUS CONCEPT 2は、高度な成膜プロセスのニーズを満たすことができる強力な産業用グレードの成膜プロセッサです。モジュラー設計を活用して、ユーザーが製造プロセスから可能な限り最良の結果を達成することを可能にする幅広い機能と機能を提供することができます。