中古 NOVELLUS CONCEPT 2 #9262616 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2リアクターは、半導体チップの製造のための金属蒸着プロセスを強化するために特別に設計された最先端の生産ツールです。この原子炉は、狭い〜中ピッチの銅RDL（再分配層）と複数の誘電材料（MDM）の蒸着に最適です。このタイプの蒸着は、高度なマイクロチップデバイスの製造プロセスにおける重要なステップです。CONCEPT 2リアクターは、プロセスに苛性ポンプ圧力を適用する独自のプロセスチャンバーと、蒸着均一性とステップカバレッジを最適化する裏側動作の管状環境を備えています。このチャンバーはまた、プロセス温度を安全かつ効率的に制御するための低圧蒸気装置を収容します。このシステムは、堆積プロセス全体にわたって均一性と再現性を確保するのに役立ちます。NOVELLUS CONCEPT 2には、最大のプロセス制御を確保するために、基板全体の圧力、温度、ガス供給、およびその他のパラメータを監視および調整する統合された高度なプロセス制御ユニットも含まれています。この機能により、バリエーションを最小限に抑えながら一貫した高品質の預金が保証されます。CONCEPT 2には、可変周波数ジェネレータが内蔵されており、調整可能な周波数、多周波動作、および高速電力周波数スイッチング機能を提供します。この発電機は、蒸着プロセスのパフォーマンスを向上させるのに役立つパルスRFエネルギーフィールドを作成します。NOVELLUS CONCEPT 2は、不活性ガスの自動運転が可能で、基板全体に均一なガスの積載と圧力制御を実現し、内部インジェクタの高さとセグメント温度を個別に制御します。この機能により、プロセスフローを正確に制御でき、一貫性のあるパフォーマンスを確保できます。CONCEPT 2はまた、高効率のパーティクルキャプチャ技術を提供し、堆積プロセス中のパーティクル性能を向上させ、サイクル時間を増加させます。この原子炉は非接触式の振動絶縁機を備えており、基板から振動を絶縁し、スループットと均一性を向上させています。結論として、NOVELLUS CONCEPT 2リアクターは、半導体チップの製造のための金属蒸着プロセスを強化するために設計された先進的な生産ツールです。リアクターの統合されたプロセス制御ツール、可変周波数発生器、不活性ガス操作、およびパーティクルキャプチャ技術は、サイクル時間を増加させ、プロセスのパフォーマンスと制御を向上させるのに役立ちます。