中古 NOVELLUS CONCEPT 2 #9251351 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2は、半導体製造のために設計された化学機械平面化（CMP）原子炉です。他のCMPシステムと比較してパフォーマンスと生産性を向上させる高度なツールです。半導体ウェーハ上に非常に均一で平面化された表面を作成し、最終製品の適切な電気接続を確保するために使用されます。CONCEPT 2リアクターは、回転パッドヘッドを使用して、ウェーハと研磨パッド間の一貫した接触レベルを作成します。これにより、ウェーハ表面をより均一に研磨することができます。原子炉はまた、さらに研磨プロセスの均一性を高める改良された水供給装置を備えています。給水システムは、平面化率を最大40％まで高め、用途に応じて調整することができます。さらに、この新しい原子炉は騒音レベルが大幅に低下し、より効率的な熱管理ユニットが構成部品の寿命を延ばすのに役立ちます。NOVELLUS CONCEPT 2リアクターは、傾き補正、各種圧力制御、高度なフィードバック制御など、さまざまな洗練された機能を利用して、表面の均一性を向上させ、所有コストを削減します。傾き補正機能により、ウエハのベースプレッシャーが研磨プロセス全体にわたって整合性を保ちます。圧力制御システムにより、ウェーハに印加される圧力量を正確に制御できます。このパラメータは、ヒートスポットの発生を防ぎ、ウェーハの損傷を軽減し、研磨結果を改善するために調整することができます。高度なフィードバックレギュレーションマシンは、プロセスパラメータを監視し、研磨プロセスのリアルタイム最適化を可能にします。先端技術CONCEPT 2リアクターの提供に加えて、他のCMPリアクターよりも効率的です。改良された熱管理ツール、高度なノズル設計、および最適化されたプロセス制御により、製品温度を低減し、材料損失を低減します。これにより、サイクル時間が短縮され、歩留まりが向上します。NOVELLUS CONCEPT 2リアクターは、優れたユーザーコントロールと診断機能も提供します。この原子炉は、高度なプロセス制御および生産管理システムと互換性があり、ユーザーは原子炉の動作を密接に監視し、発生する可能性のある問題を修正することができます。全体として、CONCEPT 2 CMPリアクターは、パフォーマンスの向上、効率の向上、およびユーザー制御機能の向上を提供します。この原子炉に組み込まれた高度な技術は、半導体生産の複雑な要求に応えるのに最適な選択肢です。