中古 NOVELLUS CONCEPT 2 #9235678 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2は、半導体産業で使用される化学蒸着（CVD）用の原子炉です。シングルウェーハ、バッチプロセス、マルチチャンバーCVDリアクターであり、迅速なプロセス開発、プロセス認定、高スループット生産を可能にするように設計されています。CONCEPT 2は、独自のマルチチャンバーアーキテクチャと幅広いチャンバ対応プロセスガスにより、成膜プロセスの柔軟性と選択性を実現します。NOVELLUS CONCEPT 2は、セミエンクローズされた2ゾーンのデザインです。メインチャンバーはボトムチャンバーとトップチャンバーで構成されています。上の部屋はCVDプロセスが行われる主要なプロセスチャンバーです。コンフォーマルプロセスガスは、2つのガスルータによって上部チャンバに多種多様なプロセスガスを導入することができ、チャンバ内の化学成分を極めて正確に制御し、蒸着プロセス中にウェーハの温度を調整することができます。底の部屋は酸化および粒子の蓄積を防ぐために部屋を逆充電するように設計されている湿気交換ガスで満たされます。CONCEPT 2にはさまざまなロボット機能が搭載されています。ロボットアームは、基板ウェーハを1つのチャンバーから次のチャンバーに移動させ、それをトップチャンバーに導入し、ガスライン、ライナーパイプ、ヒーター、シールドなどの他のコンポーネントを導入して移動するように設計されています。また、非対称的な動きを模倣できるように設計されており、化学フラックスやプロセスの柔軟性を高めています。NOVELLUS CONCEPT 2リアクターには、高度なプロセス制御システム（APC）が搭載されています。APCは、ウェハ、ロボットアーム、プロセスガスの正確な動作を行うようにプログラムすることができます。APCはまた、原子炉および温度、プラズマ圧力、流量などのプロセス・ガスの状態を監視します。この制御により、プロセスパラメータの精度が高くなり、CVDプロセスの速度と品質が向上します。結論として、CONCEPT 2リアクターは、化学蒸着プロセスの温度、速度、精度を制御できるように設計されたユニークな装置です。その2ゾーン設計と高度なプロセス制御システムは、迅速なプロセス開発、プロセス認定、高スループット生産を可能にします。